OSAKAVACUUM大阪真空 TG2400F 涡轮分子泵
[环境工作温度]

保证极限压力的环境温度为10～23℃。空冷式允许环境温度为10～32℃，水冷式允许环境温度为10～40℃。保证极限压力的冷却水温度为30℃或以下，冷却水允许温度为10～35℃。

OSAKAVACUUM大阪真空 TG2400F 涡轮分子泵

OSAKAVACUUM大阪真空 TG2400F 涡轮分子泵

 　■自由安装位置

　■小巧尺寸

　■ 节能

　■ 快速启动

　■能够抵抗大气冲击的结构

　■可进行串行通信

　■符合安全标准NRTL/SEMI-S2/CE

目的

・半导体制造

・电子枪排气、离子源排气

・FPD制造

・表面处理、表面改性

・制造各种电子元件

・分析和测试设备

灯泡制造、光学元件制造

加速器、辐射设施、核聚变研究

・热处理

・研发

*排放腐蚀性气体时，请选择与化学品兼容的 TG-M 或 TG 系列。

规格

外部尺寸

性能曲线

控制器

模型TG2400FTG2400F-40

进气法兰 VG250/ISO-B250

泵送速度N2 （升/秒）2400

N 2（带防护网）（升/秒）2300

H2 （升/秒）1100

最大压缩比 N21× 108

H21.4× 10³

极限压力 （Pa/Torr）< 1× 10⁻⁶ /<7.5×10⁻⁹

最大气体流量*1*2(sccm)9001500

启动时间（分钟） 5-7

停机时间（分钟） 15-18

允许的辅助压力（Pa/Torr）200/1.5

推荐的备用泵（升/分钟）≥500

安装位置自由

大量的空气冷却/水冷却45/47

控制器模型TC2403TC2403-10 *3

*1：辅助泵流量为 1000L/min 时的最大允许流量

*2：因电源型号而异

*3：适用于TG2400F-40

[环境工作温度]

保证极限压力的环境温度为10～23℃。空冷式允许环境温度为10～32℃，水冷式允许环境温度为10～40℃。保证极限压力的冷却水温度为30℃或以下，冷却水允许温度为10～35℃。

[兼容气体类型]

根据吸入气体的类型，可能会导致轴承润滑脂和内部零件劣化。请联系我们了解兼容的气体类型。

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