INFICON英福康 SQC-310/C 膜厚控制仪
质谱仪QMG 800
以 的灵敏度、精确度和 分析能力挑战极限

INFICON英福康 SQC-310/C 膜厚控制仪

INFICON英福康 SQC-310/C 膜厚控制仪 ‍

 SQC-310

沉积控制器SQC-310

高精度顺序或共沉积控制

INFICON SQC-310 系列拥有先进的电子元件、改进的显示屏和非常实惠的价格，为您提供竞争对手薄膜控制器所不具备的功能。您可以选择适合您应用的理想型号：顺序沉积 (SQC-310) 或共沉积 (SQC-310C)。

功能

明亮的彩色液晶显示屏 - 提供英文或中文显示

标准RS-232和USB接口（可选RS-232和以太网接口）

通过 "快速设置 "菜单、6个上下文敏感按钮和方便的参数设置旋钮，实现简单的设置和操作

Windows®程序，用于开发、测试和下载过程，并将仪表数据记录到PC上，用于过程分析和质量控制

精确的过程控制，尤其适用于低沉积速率，分辨率为±0.03 Hz，读数为10个/秒

可存储多达100个过程、1,000层、50层薄膜的数据

使用单个传感器或多个传感器监测源材料，以提供精确的源分布监测

规格

SQC-310

SQC-310C

测量 

QCM 输入 QCM 输入 4 

测量频率范围 测量频率范围 可调节的： 

  1.0 MHz 

最大 6.5 MHz 

频率分辨率 (1) 频率分辨率 (1) ± 0.012赫兹 

厚度和速率分辨率/测量 (2) 厚度和速率分辨率/测量 (2) ±0.015 埃 

频率稳定性 频率稳定性 总计±2 ppm，0至50C 

测量间隔 测量间隔 0.10至1.0秒（可调） 

费率显示 费率显示 0.01 埃/秒 

   控制 

贮存 贮存 100道工序，1000层，50层薄膜 

控制输出 控制输出 4 

输出信号 输出信号 ± 0 至 10 VDC，15 位 

数字输入/继电器 数字输入/继电器 16/16 

数字输入 数字输入 5 VDC 非隔离 

继电器 继电器 SPST 形式 1A，30V，最大 2A 

接口 接口 标准 RS-232 和 USB（RS-232 和以太网可选） 

远程电源控制 远程电源控制 可选（IPN 782-900-017） 

   展示 

类型 类型 1/4 VGA 320 x 240 有源矩阵彩色 LCD 

图表 图表 速率、偏差、功率或全屏数字 

   一般的 

力量 力量 100-240 伏交流电，50/60 赫兹，25 瓦 

遵守 遵守 CE、RoHS 

Windows® 软件 Windows® 软件 包括 

外壳/安装 外壳/安装 5 1/4"半机架 

   （1）分辨率为 0.25 秒测量间隔 

（2）工具/密度 = 100/1，基频 = 6 MHz，测量间隔 0.25 s 

附件

配件和备件

名称 描述 

前载式单传感器 前载式单传感器 

前载式双传感器 前载式双传感器 

冷藏抽屉单传感器 冷藏抽屉单传感器 

冷藏抽屉双传感器 冷藏抽屉双传感器 

简易速率单传感器 简易速率单传感器 

简易速率双传感器 简易速率双传感器 

超高压可烘烤传感器 超高压可烘烤传感器 

溅射传感器 溅射传感器 

CrystalSix® 传感器 CrystalSix® 传感器 

Crystal 12®传感器 Crystal 12®传感器 

RSH-600旋转传感器 RSH-600旋转传感器 

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                             所有语言                                                                                                                                    日语                                                                                                                                                                    中文                                                                                                                                                                    英语                                                                                      

样本

手册

3D文件

其他

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