OSAKAVACUUM大阪真空 TG350F 油旋式真空泵
根据吸入气体的类型，可能会损坏轴承润滑脂和内部零件。请联系我们了解兼容气体的相关信息。
采用油脂润滑滚珠轴承使得这些泵结构紧凑、重量轻、成本低廉。它们还具有很高的抗冲击性，因此适用于安装在便携式设备或设备的移动部件上，该系列产品探索了涡轮分子泵的新可能性。产品系列流量范围从 50 升/秒到 2400 升/秒。

OSAKAVACUUM大阪真空 TG350F 油旋式真空泵

OSAKAVACUUM大阪真空 TG350F 油旋式真空泵

 自由安装位置

小巧尺寸

节能

快速停止排气

能抵抗大气冲击

可进行串行通信

符合NRTL/SEMI-S2/CE安全标准

目的

■ 半导体制造

■ 电子枪排气，离子源排气

■ FPD制造

■ 表面处理和表面改性

■ 制造各种电子元件

■ 分析和测试设备

■ 管材制造、光学元件制造

■ 加速器、辐射设施和核聚变研究

■ 热处理

■ 研究与开发

*排放腐蚀性气体时，请选择与化学品兼容的 TG-M 或 TG 系列。

规格

外部尺寸

性能曲线

控制器

模型TG350F

进气法兰 VG100

ISO-R100

CF100

泵送速度VG / ISO-R・CF

N 2 (升/秒)350 / 330

VG / ISO-R・CF

N 2（带防护网）（L/s）330 / 310

VG / ISO-R・CF H2

( L/s)210 / 210

最大压缩比 N21× 108

H22× 103

极限压力 （帕/托）<1×10⁻⁶ /  <7.5× 10⁻⁹

最大气体流量*1(sccm)500

启动时间（分钟） 2-2.5

停机时间（分钟） 5-6.5

允许的辅助压力（帕/托）260 / 2

推荐的备用泵（升/分钟）≥80

安装位置自由

大量的VG・ISO-R / CF(kg) 6/9

控制器模型TC353

*1：当备用泵流量为 160 L/min 时， 允许流量。

[环境工作温度]

保证极限压力的环境温度为 10 至 23°C。空冷机型的允许环境温度为 10 至 32°C，水冷机型的允许环境温度为 10 至 40°C。保证极限压力的冷却水温度为 30°C 或以下，允许冷却水温度为 10 至 35°C。

[兼容气体]

根据吸入气体的类型，可能会损坏轴承润滑脂和内部零件。请联系我们了解兼容气体的相关信息。

采用油脂润滑滚珠轴承使得这些泵结构紧凑、重量轻、成本低廉。它们还具有很高的抗冲击性，因此适用于安装在便携式设备或设备的移动部件上，该系列产品探索了涡轮分子泵的新可能性。产品系列流量范围从 50 升/秒到 2400 升/秒。

涡轮分子泵（复合分子泵）的泵送原理

涡轮分子泵由多级动叶片和静叶片组合而成。叶片倾角和旋转方向的关系如下图所示。来自高真空侧的气体分子在进出动叶片时会朝着不同的方向运动。然而，叶片的倾角和旋转方向会将它们引导至后级，同时引导它们更容易穿过静叶片。从后级穿过静叶片并向后运动的气体分子，也会因与动叶片接触而被引导至后级。叶片的倾角使得气体分子能够轻松地从前级通过（排气方向和回流方向的流量差较大），而气体分子则难以从后级向后运动（排气方向和回流方向的流量比较大）。在分子流区域，动叶片和静叶片共同完成涡轮分子泵的基本功能。

我们在动叶片和静叶片的组合结构中增加了一个“螺纹槽"。气体分子被吸引到圆柱形旋转部件（转子）的壁面，最终沿着固定部件（定子）上的螺纹槽被送至背压侧。这种螺纹槽的作用使得泵不仅可以在分子流区域进行抽气，还可以在中间流区域进行抽气，从而制造出一种能够实现高流量抽气的涡轮分子泵（复合分子泵），尤其是在中间流区域。这拓宽了涡轮分子泵的工作范围，使其能够应用于更广泛的领域。此外，由于它们能够在高背压下运行，因此也扩大了辅助泵的选择范围。