OSAKAVACUUM大阪真空 TG450F 液环真空泵
灯制造、光学元件制造
加速器、辐射设施、核聚变研究
・热处理
・研发
*排放腐蚀性气体时，请选择与化学品兼容的 TG-M 或 TG 系列。

OSAKAVACUUM大阪真空 TG450F 液环真空泵

OSAKAVACUUM大阪真空 TG450F 液环真空泵

 目的

・半导体制造

・电子枪排气、离子源排气

・FPD制造

・表面处理、表面改性

・制造各种电子元件

・分析和测试设备

灯泡制造、光学元件制造

加速器、辐射设施、核聚变研究

・热处理

・研发

*排放腐蚀性气体时，请选择与化学品兼容的 TG-M 或 TG 系列。

规格

外部尺寸

性能曲线

控制器

模型TG450F

进气法兰 VG150

ISO-B160

CF160

泵送速度N2 （升/秒）450

N 2（带防护网）（升/秒）430

H2 （升/秒）240

最大压缩比 N21× 108

H22× 103

极限压力 （帕/托）<1×10⁻⁶ /  <7.5× 10⁻⁹

最大气体流量*1(sccm)500

启动时间（分钟） 2-2.5

停机时间（分钟） 5-6.5

允许的辅助压力（帕/托）260 / 2

推荐的备用泵（升/分钟）≥80

安装位置自由

大量的VG・ISO-R / CF(kg) 7/10

控制器模型TC353

*1：当备用泵流量为 160 L/min 时，最大允许流量。

[环境工作温度]

保证极限压力的环境温度为 10 至 23°C。空冷机型的允许环境温度为 10 至 32°C，水冷机型的允许环境温度为 10 至 40°C。保证极限压力的冷却水温度为 30°C 或以下，允许冷却水温度为 10 至 35°C。

[兼容气体]

根据吸入气体的类型，可能会损坏轴承润滑脂和内部零件。请联系我们了解兼容气体的相关信息。

 控制器模型TC353

输入电压（ACV）100-110 (±10%) / 200-230 (±10%)

输入频率（赫兹）50/60

输入相位数单相

最大功率需求（VA）610

输出频率（赫兹）750

质量（千克）2.7

标准配件- 输入接口：1

・远程连接器：1

- 串行通信接口：1

・使用说明书（主机、串口通讯）：各一份

适用泵型号TG450F