INFICON英福康 IMM-200 标准沉积监测器
质谱仪QMG 800
以 的灵敏度、精确度和 分析能力挑战极限

INFICON英福康 IMM-200 标准沉积监测器

INFICON英福康 IMM-200 标准沉积监测器 ‍

 用精确的速率和厚度监测来保护和增加您的利润

IMM-200是一款采用ModeLock技术的沉积监测器，以最高的厚度精度、最佳的测量分辨率和 的速率噪声，最大限度地提高可重复性和均匀性。

由于内置了振荡器，IMM-200可以很容易地集成到一个以太网系统中，而且硬件和占地面积最小。这个强大而精确的测量监控器一定会给你的工艺带来新的性能水平。

功能

INFICON ModeLock 技术提供最长的晶体寿命，并确保提供 、最高分辨率的速率和厚度测量，即使在非常低的速率下也是如此。

通过最佳的 QCM 厚度测量，最大限度地提高产量

单通道速率和厚度监测器，没有不必要的附加功能，最大限度地降低了成本

100毫秒采样的±0.0035赫兹

以太网通信实现无缝集成

尺寸紧凑，通过节省工具空间，最大限度地降低集成成本

专家应用支持，能够讨论 的应用需求，提供比竞争对手更多的支持

符合RoHS标准

典型应用

半导体制造

OLED应用

规格

传感器输入 1 

  测量频率范围 6.0至4.5兆赫（固定） 

  速率和厚度分辨率 0.0042埃（新晶体）；0.0076埃（晶体@4.5兆赫），超过100毫秒的样品，材料密度=1.0，Z-比率=1.0 

  通信类型 以太网，1个RJ45插口 

在此下载完整的规格

零件编号

附件

易耗品

零件编号 描述 

785-602-G1 IMM-200 Thin Film Deposition Monitor 

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样本

手册

其他

该产品被用于以下市场

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