OSAKAVACUUM大阪真空 TG50F 复合分子泵
・表面处理、表面改性
・制造各种电子元件
・分析和测试设备
灯泡制造、光学元件制造
加速器、辐射设施、核聚变研究
・热处理
・研发
*排放腐蚀性气体时，请选择与化学品兼容的 TG-M 或 TG 系列。

OSAKAVACUUM大阪真空 TG50F 复合分子泵 

OSAKAVACUUM大阪真空 TG50F 复合分子泵 

目的

・半导体制造

・电子枪排气、离子源排气

・FPD制造

・表面处理、表面改性

・制造各种电子元件

・分析和测试设备

灯泡制造、光学元件制造

加速器、辐射设施、核聚变研究

・热处理

・研发

*排放腐蚀性气体时，请选择与化学品兼容的 TG-M 或 TG 系列。

 进气法兰 VG65

ISO-R63

CF63

泵送速度N2 （升/秒）51

N 2（带防护网）（升/秒）49

H2 （升/秒）12

最大压缩比 N21.4× 10⁷

H25× 102

极限压力 VG・ISO-R/CF (Pa)<3× 10

VG・ISO-R/CF（托）<2.3× 10-8

最大气体流量*1N2 （ sccm）80

启动时间（分钟） 1-1.5

停机时间（分钟）1-1.5

允许的辅助压力（帕/托）1330 / 10

推荐的备用泵（升/分钟）≥50

安装位置自由

大量的 VG･ISO-R / CF(kg)4.2 / 6

控制器模型TC64

*1：辅助泵流量为 100 升/分钟时的最大允许流量

【环境温度】

保证极限压力下的环境温度为10～23℃。空冷型号的允许环境温度为10～32℃，水冷型号的允许环境温度为10～40℃。保证极限压力下的冷却水温度为30℃或以下，允许冷却水温度为10～35℃。

【兼容气体】

根据吸入气体的类型，可能会对轴承润滑脂和内部零件造成损害。请联系我们获取兼容气体的相关信息。

TG50F柔性位置复合分子泵的特点

• 自由安装位置

• 小巧尺寸

• 节能

• 快速启动

• 快速停止排气

• 能抵抗大气冲击

• 可进行串行通信