OSAKAVACUUM大阪真空 TG60F-20 复合分子泵
自由安装位置
小巧尺寸
节能
快速启动
快速停止排气
能抵抗大气冲击
高压缩比
集成控制器
安全标准符合性：NRTL/SEMI-S2/CE（*仅限TG60F-20）

OSAKAVACUUM大阪真空 TG60F-20 复合分子泵

OSAKAVACUUM大阪真空 TG60F-20 复合分子泵

 目的

半导体制造

电子枪排气，离子源排气

FPD制造

表面处理、表面改性

制造各种电子元件

分析和测试设备

管材制造、光学元件制造

加速器、辐射设施和核聚变研究

热处理

研究与开发

*排放腐蚀性气体时，请选择与化学品兼容的 TG-M 或 TG 系列。

 控制器模型TC66

输入电压（ACV）100-230

输入频率（赫兹）50/60

输入相位数单相

最大功率需求（VA）240

输出频率（赫兹）1150

质量（千克）2.4

标准配件输入接口：1个；

远程接口：1个；

使用说明书：1份

适用泵型号TG60F-20

 TG-F系列柔性定位复合分子泵

采用油脂润滑滚珠轴承使得这些泵结构紧凑、重量轻、成本低廉。它们还具有很高的抗冲击性，因此适用于安装在便携式设备或设备的移动部件上，该系列产品探索了涡轮分子泵的新可能性。产品系列流量范围从 50 升/秒到 2400 升/秒。

 涡轮分子泵（复合分子泵）的泵送原理

涡轮分子泵由多级动叶片和静叶片组合而成。叶片倾角和旋转方向的关系如下图所示。来自高真空侧的气体分子在进出动叶片时会朝着不同的方向运动。然而，叶片的倾角和旋转方向会将它们引导至后级，同时引导它们更容易穿过静叶片。从后级穿过静叶片并向后运动的气体分子，也会因与动叶片接触而被引导至后级。叶片的倾角使得气体分子能够轻松地从前级通过（排气方向和回流方向的流量差较大），而气体分子则难以从后级向后运动（排气方向和回流方向的流量比较大）。在分子流区域，动叶片和静叶片共同完成涡轮分子泵的基本功能。

我们在动叶片和静叶片的组合结构中增加了一个“螺纹槽"。气体分子被吸引到圆柱形旋转部件（转子）的壁面，最终沿着固定部件（定子）上的螺纹槽被送至背压侧。这种螺纹槽的作用使得泵不仅可以在分子流区域进行抽气，还可以在中间流区域进行抽气，从而制造出一种能够实现高流量抽气的涡轮分子泵（复合分子泵），尤其是在中间流区域。这拓宽了涡轮分子泵的工作范围，使其能够应用于更广泛的领域。此外，由于它们能够在高背压下运行，因此也扩大了辅助泵的选择范围。