OSAKAVACUUM大阪真空 TG800F 油扩散真空泵
它可以从各个方向直接连接到柔性安装
装置上。这使得管道设计更简单，排气效率更高。
它具有抗振动和抗加速度
性能，即使在泵运转时也能移动。经证实，即使在发生强烈地震的情况下，它也能重新启动。它还可以连接到排气车和腔室门等运动部件上

OSAKAVACUUM大阪真空 TG800F 油扩散真空泵

OSAKAVACUUM大阪真空 TG800F 油扩散真空泵

 TG-F系列柔性位置涡轮分子泵的特点

它可以从各个方向直接连接到柔性安装

装置上。这使得管道设计更简单，排气效率更高。

它具有抗振动和抗加速度

性能，即使在泵运转时也能移动。经证实，即使在发生强烈地震的情况下，它也能重新启动。它还可以连接到排气车和腔室门等运动部件上。

尺寸紧凑：

通过简化结构，使其体积更小、重量更轻成为可能。

快速启动

：启动速度快，待机时间短。

该结构能够抵抗大气冲击

，并能承受突然的压力增加，因此能够有效应对因泄漏而导致的突然停止、频繁的启动和停止以及涉及大气冲击的重复操作。

长期使用：

经过适当的检修，该泵可长期使用。*泵的设计寿命超过10万小时。

可进行串行通信

，标配符合 RS232C 标准的串行接口。

符合NRTL/SEMI-S2/CE安全标准

目的

半导体制造

电子枪排气，离子源排气

FPD制造

表面处理、表面改性

制造各种电子元件

分析和测试设备

管材制造、光学元件制造

加速器、辐射设施和核聚变研究

热处理

研究与开发

*排放腐蚀性气体时，请选择与化学品兼容的 TG-M 或 TG 系列。

控制器模型TC1104TC1103

输入电压（ACV）100-110 (±10%)

200-230 (±10%)200-230 (±10%)

输入频率（赫兹）50/6050/60

输入相位数单相单相

最大功率需求（VA）610810

输出频率（赫兹）560560

质量（千克）2.78.2

标准配件输入接口：1个；

远程接口：1个；

串口通信接口：1个；

使用说明书（主机、串口通信）：各1份输入接口：1个

；远程接口：1个

；串口通信接口：1个

；铁氧体磁芯：1个；

使用说明书（主机、串口通信）：各1份

适用泵型号TG800FTG800F*A*-60

TG800F*W*