INFICON英福康 SQM-160 多层膜速率监测仪
质谱仪QMG 800
以 的灵敏度、精确度和 分析能力挑战极限

INFICON英福康 SQM-160 多层膜速率监测仪

INFICON英福康 SQM-160 多层膜速率监测仪 ‍

 监测SQM-160

SQM-160 使用成熟的 INFICON 石英晶体传感器技术在薄膜沉积过程中测量速率和厚度。两个传感器输入为标准输入，另外四个传感器输入为可选输入。两个录像机输出可提供模拟速率和厚度信号。

传感器输入可分配给不同的材料，在大型系统中平均分配以实现精确的沉积控制，或者配置为双传感器。速率采样模式可在高速率过程中屏蔽传感器，从而延长传感器的使用寿命。速率显示为 0.1Å/s 或 0.01Å/s，用户可自行选择。此外，还可以选择频率或质量显示。凭借四个继电器输入，SQM-160 可控制来源或传感器屏蔽、信号时间和厚度设定点以及信号晶体失效。数字输入允许外部信号启动/停止和归零读数。

功能

两个标准测量通道，另外四个可选

模拟输出便于记录速率/厚度

高分辨率选件：0.03 Hz，10 读数/秒

RS-232 标准接口，可选择连接 USB 或以太网

规格

SQM-160 标准分辨率

SQM-160 高分辨率

QCM 传感器输入 标准：2；可选：4 

  测量频率范围 可调：

最小 1.0 MHz，

最大 6.5 MHz 

  厚度和速率分辨率/测量 (1) ± 0.37 埃 

  存储薄膜 99 

  数字输入/输出 四个输入，四个继电器输出 

(1) 工具/密度 = 100/1，基础频率 = 6 赫兹，0.10 秒测量间隔 

零件编号

平方米160png•127.0 KB

附件

配件

配件和替换件

耗材

前载式单传感器 前载式单传感器 

前载式双传感器 前载式双传感器 

冷藏抽屉单传感器 冷藏抽屉单传感器 

冷藏抽屉双传感器 冷藏抽屉双传感器 

简易速率单传感器 简易速率单传感器 

简易速率双传感器 简易速率双传感器 

超高压可烘烤传感器 超高压可烘烤传感器 

溅射传感器 溅射传感器 

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手册

SQM-160 多膜速率/厚度监测仪（英文版）PDF•641.9 KB•英语•手册

手册

3D文件

其他

该产品被用于以下市场

真空镀膜

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