OSAKAVACUUM大阪真空 TG1400F 涡轮分子泵
进气法兰 VG200/ISO-B200/CF200
泵送速度N2 （升/秒）1400
N 2（带防护网）（升/秒）1300

OSAKAVACUUM大阪真空 TG1400F 涡轮分子泵 

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产品查找器

大阪真空设备厂首页 产品查找器 涡轮分子泵 TG1400F

TG1400F

　■自由安装位置

　■小巧尺寸

　■ 节能

　■ 快速启动

　■能够抵抗大气冲击的结构

　■可进行串行通信

　■符合安全标准NRTL/SEMI-S2/CE

目的

・半导体制造

・电子枪排气、离子源排气

・FPD制造

・表面处理、表面改性

・制造各种电子元件

・分析和测试设备

灯泡制造、光学元件制造

加速器、辐射设施、核聚变研究

・热处理

・研发

*排放腐蚀性气体时，请选择与化学品兼容的 TG-M 或 TG 系列。

规格

外部尺寸

性能曲线

控制器

模型TG1400F

进气法兰 VG200/ISO-B200/CF200

泵送速度N2 （升/秒）1400

N 2（带防护网）（升/秒）1300

H2 （升/秒）750

最大压缩比 N21× 108

H24.3× 10³

极限压力 （Pa/Torr）< 1× 10⁻⁶ /<7.5×10⁻⁹

最大气体流量*1(sccm)450

启动时间（分钟） 5.5-7

停机时间（分钟） 15-18

允许的辅助压力（Pa/Torr）330/2.5

推荐的备用泵（升/分钟）≥250

安装位置自由

大量的VG・ISO-B/CF(kg) 29/30

控制器模型TC1103

*1：当备用泵流量为 500 L/min 时，最大允许流量。

[环境工作温度]

保证极限压力的环境温度为 10 至 23°C。空冷式允许环境温度为 10 至 32°C，水冷式允许环境温度为 10 至 40°C。保证极限压力的冷却水温度为 30°C 或以下，允许冷却水温度为 10 至 35°C。

[兼容气体]

根据吸入气体的类型，可能会损坏轴承润滑脂和内部零件。请联系我们获取兼容气体的相关信息。