OSAKAVACUUM大阪真空 TG397M 涡轮分子泵
新型磁轴承涡轮分子泵TG397M/TG427M/TG907M/TG1307M的特点
节能设计
运行数据、着陆次数、型号信息等可以存储在主机中。*即使在检修期间更换了控制器，数据也可以传输。
多种通信规范：并行 I/O、RS232C、RS485、Profibus、DeviceNet、EtherCAT
国际标准符合性：NRTL/SEMI-

OSAKAVACUUM大阪真空 TG397M 涡轮分子泵

OSAKAVACUUM大阪真空 TG397M 涡轮分子泵

 产品查找器 涡轮分子泵 TG397M / TG427M / TG907M / TG1307M

TG397M / TG427M / TG907M / TG1307M

新型磁轴承涡轮分子泵TG397M/TG427M/TG907M/TG1307M的特点

节能设计

运行数据、着陆次数、型号信息等可以存储在主机中。*即使在检修期间更换了控制器，数据也可以传输。

多种通信规范：并行 I/O、RS232C、RS485、Profibus、DeviceNet、EtherCAT

国际标准符合性：NRTL/SEMI-S2/CE

目的

半导体制造设备　　

FPD制造设备

太阳能电池制造设备

加工光学元件，例如玻璃和透镜

胶片冲洗

加速器/空间环境测试设备

 涡轮分子泵（复合分子泵）的泵送原理

涡轮分子泵由多级动叶片和静叶片组合而成。叶片倾角和旋转方向的关系如下图所示。来自高真空侧的气体分子在进出动叶片时会朝着不同的方向运动。然而，叶片的倾角和旋转方向会将它们引导至后级，同时引导它们更容易穿过静叶片。从后级穿过静叶片并向后运动的气体分子，也会因与动叶片接触而被引导至后级。叶片的倾角使得气体分子能够轻松地从前级通过（排气方向和回流方向的流量差较大），而气体分子则难以从后级向后运动（排气方向和回流方向的流量比较大）。在分子流区域，动叶片和静叶片共同完成涡轮分子泵的基本功能。

我们在动叶片和静叶片的组合结构中增加了一个“螺纹槽"。气体分子被吸引到圆柱形旋转部件（转子）的壁面，最终沿着固定部件（定子）上的螺纹槽被送至背压侧。这种螺纹槽的作用使得泵不仅可以在分子流区域进行抽气，还可以在中间流区域进行抽气，从而制造出一种能够实现高流量抽气的涡轮分子泵（复合分子泵），尤其是在中间流区域。这拓宽了涡轮分子泵的工作范围，使其能够应用于更广泛的领域。此外，由于它们能够在高背压下运行，因此也扩大了辅助泵的选择范围。

涡轮分子泵由多级动叶片和静叶片组合而成。叶片倾角与旋转方向的关系如下图所示。来自高真空侧的气体分子在进入和离开动叶片时会尝试朝各个方向运动。然而，由于叶片的倾角和旋转，它们会被引导至后级，同时其运动方向也便于它们穿过静叶片。