OSAKAVACUUM大阪真空 TG2400M 磁轴承真空泵
TG-M系列磁轴承涡轮分子泵的特点


自由安装位置
小巧尺寸
节能
快速启动/停止
维修电话
低振动
免费调音
自动校准
转速控制

OSAKAVACUUM大阪真空 TG2400M 磁轴承真空泵

OSAKAVACUUM大阪真空 TG2400M 磁轴承真空泵

目的

半导体制造

电子枪排气，离子源排气

FPD制造

表面处理、表面改性

制造各种电子元件

分析和测试设备

管材制造、光学元件制造

加速器、辐射设施和核聚变研究

热处理

研究与开发

*排放腐蚀性气体时，请选择与化学品兼容的 TG-M 或 TG 系列。

控制器模型TC66

输入电压（ACV）100-230

输入频率（赫兹）50/60

输入相位数单相

 功率需求（VA）240

输出频率（赫兹）1150

质量（千克）2.4

标准配件输入接口：1个；

远程接口：1个；

使用说明书：1份

适用泵型号TG60F-20

TG-F系列柔性定位复合分子泵

采用油脂润滑滚珠轴承使得这些泵结构紧凑、重量轻、成本低廉。它们还具有很高的抗冲击性，因此适用于安装在便携式设备或设备的移动部件上，该系列产品探索了涡轮分子泵的新可能性。产品系列流量范围从 50 升/秒到 2400 升/秒。

涡轮分子泵（复合分子泵）的泵送原理

涡轮分子泵由多级动叶片和静叶片组合而成。叶片倾角和旋转方向的关系如下图所示。来自高真空侧的气体分子在进出动叶片时会朝着不同的方向运动。然而，叶片的倾角和旋转方向会将它们引导至后级，同时引导它们更容易穿过静叶片。从后级穿过静叶片并向后运动的气体分子，也会因与动叶片接触而被引导至后级。叶片的倾角使得气体分子能够轻松地从前级通过（排气方向和回流方向的流量差较大），而气体分子则难以从后级向后运动（排气方向和回流方向的流量比较大）。在分子流区域，动叶片和静叶片共同完成涡轮分子泵的基本功能。

我们在动叶片和静叶片的组合结构中增加了一个“螺纹槽"。气体分子被吸引到圆柱形旋转部件（转子）的壁面，最终沿着固定部件（定子）上的螺纹槽被送至背压侧。这种螺纹槽的作用使得泵不仅可以在分子流区域进行抽气，还可以在中间流区域进行抽气，从而制造出一种能够实现高流量抽气的涡轮分子泵（复合分子泵），尤其是在中间流区域。这拓宽了涡轮分子泵的工作范围，使其能够应用于更广泛的领域。此外，由于它们能够在高背压下运行，因此也扩大了辅助泵的选择范围。

日本三丰量具量仪 光栅测微计 光学显微镜物镜

英国雷尼绍三坐标测头 机床测头 光栅尺读数头 测针传感器附件。

东京精密轮廓度仪测针 传感器 TECLOCK得乐测厚规 千分表

日本新泻精机数显水平仪 倾角仪 针规等孔雀

美德龙传感器 对刀仪 东荣· 角度计 倒角规 KASEDA卡规

AIKOH爱光推拉力计 今田试验机

日本大菱水平仪 偏摆仪 直角规 直尺

藤田水平仪直角定规 CEDAR杉崎扭矩测试仪 TOHNICHI东日扭力扳手

山本科学硬度标准片 HOKUYO北阳光电传感器 光电开关

CITIZEN 界 表 台架 光栅测微计 千分表百分表.

日本昭和测器振动传感器 IMV振动计

3M住友砂纸 填充树脂 三菱UPS电源 灯管 近藤气爪 气缸 卡盘 Macome

强力磁性工具 高斯计 台架铃木 东方马达电机

日本柴田科学SIBATA 气体采样泵 水质计 流量计 粉尘仪

HORIBA堀场PH计 电导仪 电极 膜片 滤芯Y-DKK 山形东亚

TOADKK 东亚电波PH计 电导仪 电极 密理博电阻仪

KEM京都电子密度计 电极 东兴化学PH计 饭岛电子溶氧仪

美国3M 荧光检测仪LM1 表面采样棒UXL100牛尾照度计 CUSTOM 温湿度计

风速计 噪音计日本佐藤温湿度计 风速计奥地利安东帕密度计DMA35

日本小野转速表 位移传感器 振动传感器 扭矩传感器 噪音计

HIOKI 日置电阻仪 测试线 探头 米亚基电流检测仪MM-315B 压力测试仪

压力传感器 MM-601B三菱化学阻抗分析仪 横河电流电压探头传感器

FUNTECH 强光灯 表面检查灯 FY-18N FY-18L 小平制作所

山田光学强光灯 INTEC卤素光源 EYE 岩崎卤素灯管

长野NKS 压力表 压力计 压力传感器 ASK 流量传感器 压力表植田制作所

COPAL科宝压力计负压表 压力传感器亚速旺ASONO 工业耗材 理化制品