大阪真空OSAKAVACUUM 涡轮分子泵 山金
快速停止排气
能抵抗大气冲击
高压缩比
集成控制器
安全标准符合性：NRTL/SEMI-S2/CE

大阪真空OSAKAVACUUM 涡轮分子泵 山金

大阪真空OSAKAVACUUM 涡轮分子泵 山金

产品查找器 涡轮分子泵 TGkine1700M-B/2200M-B

TGkine1700M-B/2200M-B

控制器和电源集成

节能设计

节省空间

IP54标准

各种通信规范

符合国际标准

　CE/NRTL/SEMI-S2

目的

半导体制造设备

FPD制造设备

太阳能电池制造设备

加工光学元件，例如玻璃和透镜

胶片冲洗

加速器/空间环境测试设备

 涡轮分子泵的主要优点

・可获得无油超高真空

- 因为气体分子是通过机械方式排出（动态排气），所以所有气体的排气速度几乎相同。

・可排放稀有气体和腐蚀性气体。

・可以持续排出大量气体。

・宽广的工作压力范围（最高可达10-10 Pa）

 涡轮分子泵（复合分子泵）的泵送原理

涡轮分子泵由多级动叶片和静叶片组合而成。叶片倾角和旋转方向的关系如下图所示。来自高真空侧的气体分子在进出动叶片时会朝着不同的方向运动。然而，叶片的倾角和旋转方向会将它们引导至后级，同时引导它们更容易穿过静叶片。从后级穿过静叶片并向后运动的气体分子，也会因与动叶片接触而被引导至后级。叶片的倾角使得气体分子能够轻松地从前级通过（排气方向和回流方向的流量差较大），而气体分子则难以从后级向后运动（排气方向和回流方向的流量比较大）。在分子流区域，动叶片和静叶片共同完成涡轮分子泵的基本功能。

我们在动叶片和静叶片的组合结构中增加了一个“螺纹槽"。气体分子被吸引到圆柱形旋转部件（转子）的壁面，最终沿着固定部件（定子）上的螺纹槽被送至背压侧。这种螺纹槽的作用使得泵不仅可以在分子流区域进行抽气，还可以在中间流区域进行抽气，从而制造出一种能够实现高流量抽气的涡轮分子泵（复合分子泵），尤其是在中间流区域。这拓宽了涡轮分子泵的工作范围，使其能够应用于更广泛的领域。此外，由于它们能够在高背压下运行，因此也扩大了辅助泵的选择范围。