OSAKAVACUUM大阪真空 TG1813 涡轮分子泵
・电子枪排气、离子源排气
・FPD制造
・表面处理、表面改性
・制造各种电子元件
灯泡制造、光学元件制造
加速器、辐射设施、核聚变研究

OSAKAVACUUM大阪真空 TG1813 涡轮分子泵 

OSAKAVACUUM大阪真空 TG1813 涡轮分子泵 

　■耐腐蚀性气体排放的化学型

　■能够抵抗突然大气入侵的结构

　■ 抗外部冲击

　■可进行串行通信

　■安全标准

　　NRTL/SEMI-S2/CE

目的

・半导体制造

・电子枪排气、离子源排气

・FPD制造

・表面处理、表面改性

・制造各种电子元件

灯泡制造、光学元件制造

加速器、辐射设施、核聚变研究

・热处理

・研发

*对于洁净工艺，请选择 TG-F 系列、TG-M 系列或 TGkine 系列。

规格

外部尺寸

性能曲线

控制器

进气法兰 VG200

ISO-B250

泵送速度N2 （升/秒）1800

N 2（带防护网）（升/秒）1700

H2 （升/秒）1100

最大压缩比 N21× 108

H23× 103

极限压力 VG・ISO-B (Pa)<1× 10

VG・ISO-B（托）<7.5 × 10

最大气体流量*1N2 （ sccm）2444

启动时间（分钟） 11-16

停机时间（分钟）23-28

允许的辅助压力（帕/托）270/2

推荐的备用泵（升/分钟）500

润滑剂用量（毫升）260

安装位置垂直（±10°）

大量的（千克）80

控制器模型TC1813

*1：辅助泵流量为 1000L/min 时的最大允许流量

[环境工作温度]

保证极限压力下的环境温度为10至23℃，允许的环境温度为10至40℃。保证极限压力下冷却水温度为30℃或以下，允许的冷却水温度为10至35℃。

[兼容气体类型]

根据吸入气体的类型，可能会导致轴承润滑剂和内部零件劣化。请联系我们了解兼容的气体类型。