OSAKAVACUUM大阪真空 TG397M 涡轮分子泵 新型磁轴承涡轮分子泵TG397M/TG427M/TG907M/TG1307M的特点 节能设计 运行数据、着陆次数、型号信息等可以存储在主机中。*即使在检修期间更换了控制器，数据也可以传输。 多种通信规范：并行 I/O、RS232C、RS485、Profibus、DeviceNet、EtherCAT 国际标准符合性：NRTL/SEMI-

OSAKAVACUUM大阪真空 TG427M 承涡轮分子泵 新型磁轴承涡轮分子泵TG397M/TG427M/TG907M/TG1307M的 节能设计 运行数据、着陆次数、型号信息等可以存储在主机中。*即使在检修期间更换了控制器，数据也可以传输。 多种通信规范：并行 I/O、RS232C、RS485、Profibus、DeviceNet、EtherCAT

OSAKAVACUUM大阪真空 TG907M 涡轮分子泵 节能设计 运行数据、着陆次数、型号信息等可以存储在主机中。*即使在检修期间更换了控制器，数据也可以传输。 多种通信规范：并行 I/O、RS232C、RS485、Profibus、DeviceNet、EtherCAT 国际标准符合性：NRTL/SEMI-S2/CE

OSAKAVACUUM大阪真空 TG420M 承涡轮分子泵 节能设计 运行数据、着陆次数、型号信息等可以存储在主机中。*即使在检修期间更换了控制器，数据也可以传输。

OSAKAVACUUM大阪真空 TG1300M 涡轮分子泵 自由安装位置 小巧尺寸 节能 快速启动 快速停止排气 能抵抗大气冲击 高压缩比 集成控制器 安全标准符合性

OSAKAVACUUM大阪真空 TG2400M 磁轴承真空泵 TG-M系列磁轴承涡轮分子泵的特点 自由安装位置 小巧尺寸 节能 快速启动/停止 维修电话 低振动 免费调音 自动校准 转速控制

大阪真空OSAKAVACUUM 涡轮分子泵 山金 快速停止排气 能抵抗大气冲击 高压缩比 集成控制器 安全标准符合性：NRTL/SEMI-S2/CE

大阪真空OSAKAVACUUM 工业涡轮分子泵 全新 自由安装位置 小巧尺寸 节能 快速启动 快速停止排气 能抵抗大气冲击 高压缩比 集成控制器

大阪真空OSAKAVACUUM 罗茨真空泵 全新 自由安装位置 小巧尺寸 节能 快速启动 快速停止排气 能抵抗大气冲击 高压缩比 集成控制器 安全标准符合性：NRTL/SEMI-S2/CE（*仅限TG60F-20）

OSAKAVACUUM大阪真空 涡轮分子泵 TG203 ・半导体制造 ・电子枪排气、离子源排气 ・FPD制造 ・表面处理、表面改性 ・制造各种电子元件