OSAKAVACUUM大阪真空 TG553 油旋式真空泵 ■耐腐蚀性气体排放的化学型 　■能够抵抗突然大气入侵的结构 　■ 抗外部冲击 　■可进行串行通信

OSAKAVACUUM大阪真空 TG1003 化学涡轮泵 　■耐腐蚀性气体排放的化学型 　■能够抵抗突然大气入侵的结构 　■ 抗外部冲击 　■可进行串行通信 　■安全标准 　　NRTL/SEMI-S2/CE 目的 ・半导体制造 ・电子枪排气、离子源排气 ・FPD制造 ・表面处理、表面改性 ・制造各种电子元件 灯泡制造、光学元件制造

OSAKAVACUUM大阪真空 TG1303 液环真空泵 自由安装位置 小巧尺寸 节能 快速启动 快速停止排气 能抵抗大气冲击 高压缩比

OSAKAVACUUM大阪真空 TG1813 涡轮分子泵 ・电子枪排气、离子源排气 ・FPD制造 ・表面处理、表面改性 ・制造各种电子元件 灯泡制造、光学元件制造 加速器、辐射设施、核聚变研究

OSAKAVACUUM大阪真空 TG2813 液环真空泵 ■提供标准型和耐腐蚀气体排放的化学型产品 　■能够抵抗突然大气入侵的结构 　■ 抗外部冲击 　■可进行串行通信

OSAKAVACUUM大阪真空 TG3213 轴承分子泵[环境工作温度] 保证极限压力下的环境温度为10至23℃，允许的环境温度为10至40℃。保证极限压力下冷却水温度为30℃或以下，允许的冷却水温度为10至35℃。 [兼容气体类型] 根据吸入气体的类型，可能会导致轴承润滑剂和内部零件劣化。请联系我们了解兼容的气体类型。

OSAKAVACUUM大阪真空 TG3413 涡轮分子泵 加速器、辐射设施、核聚变研究 ・热处理 ・研发 *对于洁净工艺，请选择 TG-F 系列、TG-M 系列或 TGkine 系列。

OSAKAVACUUM大阪真空 TG900M 油旋式真空泵 自由安装位置 小巧尺寸 节能 快速启动 快速停止排气 能抵抗大气冲击 高压缩比 集成控制器 安全标准符合性