仪器OTSUKA大塚 薄膜厚度监测仪 FE-300F
【ELSZneo将光散射法在物理性质评估领域
　　　　推向新高度】
ELSZ系列中的顶级型号ELSZneo，除了能够测量稀溶液到浓溶液中的zeta电位和粒径外，还能测量分子量

仪器OTSUKA大塚 薄膜厚度监测仪 FE-300F

仪器OTSUKA大塚 薄膜厚度监测仪 FE-300F

薄膜厚度监测仪 FE-300F

这款紧凑且价格实惠的薄膜厚度计采用光学干涉法，操作简便，可实现高精度薄膜厚度测量。

它采用一体化设计，所有必要设备均集成在主机中，确保数据采集稳定。

尽管价格低廉，但它仍可通过获取绝对反射率来分析光学常数。

结构紧凑、成本低廉、易于使用的薄膜厚度测量装置。

可以通过选择光谱仪和光源来选择测量薄膜厚度范围。

设置测量条件和执行测量操作都很简单，任何人都能轻松完成测量。

它具备实时监控和模拟功能。

其测量光斑直径为 φ1.2 毫米，支持从 3 纳米至 35 微米的薄膜到厚膜的

广泛测量范围。

测量项目

绝对反射率测量

薄膜厚度分析（10层）

光学常数分析（n：折射率，k：消光因子）

测量目标

功能薄膜、透明

导电塑料薄膜（ITO、银纳米线）、相差薄膜、偏光薄膜、AR薄膜、PET、PEN、TAC、PP、PC、PE、PVA、粘合剂、密封剂、保护膜、硬涂层、防指纹剂等。

半导体

化合物半导体、硅、氧化物薄膜、氮化物薄膜、光刻胶、碳化硅、砷化镓、氮化镓、磷化铟、砷化铟镓、绝缘体上硅、蓝宝石等。

表面处理，例如

DLC涂层、防锈剂、防雾剂等。

光学材料

滤光片、增透膜等。

FPD

LCD（CF、ITO、LC、PI）、OLED（有机薄膜、封装材料）等。

其他产品包括

硬盘驱动器、磁带、建筑材料等。

薄膜厚度监测仪 FE-300F

这款紧凑且价格实惠的薄膜厚度计采用光学干涉法，操作简便，可实现高精度薄膜厚度测量。

它采用一体化设计，所有必要设备均集成在主机中，确保数据采集稳定。

尽管价格低廉，但它仍可通过获取绝对反射率来分析光学常数。

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产品信息

原则

规格

产品信息

特征

结构紧凑、成本低廉、易于使用的薄膜厚度测量装置。

可以通过选择光谱仪和光源来选择测量薄膜厚度范围。

设置测量条件和执行测量操作都很简单，任何人都能轻松完成测量。

它具备实时监控和模拟功能。

其测量光斑直径为 φ1.2 毫米，支持从 3 纳米至 35 微米的薄膜到厚膜的

广泛测量范围。

测量项目

绝对反射率测量

薄膜厚度分析（10层）

光学常数分析（n：折射率，k：消光因子）

测量目标

功能薄膜、透明

导电塑料薄膜（ITO、银纳米线）、相差薄膜、偏光薄膜、AR薄膜、PET、PEN、TAC、PP、PC、PE、PVA、粘合剂、密封剂、保护膜、硬涂层、防指纹剂等。

半导体

化合物半导体、硅、氧化物薄膜、氮化物薄膜、光刻胶、碳化硅、砷化镓、氮化镓、磷化铟、砷化铟镓、绝缘体上硅、蓝宝石等。

表面处理，例如

DLC涂层、防锈剂、防雾剂等。

光学材料

滤光片、增透膜等。

FPD

LCD（CF、ITO、LC、PI）、OLED（有机薄膜、封装材料）等。

其他产品包括

硬盘驱动器、磁带、建筑材料等。

测量原理

在大塚电子，我们利用光学干涉法和自主研发的高精度分光光度计，实现了非接触式、无损、高速且高精度的薄膜厚度测量。光学干涉法是一种利用分光光度计等光学系统测量反射率来确定薄膜厚度的方法，如图2所示。以涂覆在金属基底上的薄膜为例，如图1所示，从目标样品上方入射的光会在薄膜表面（R1）反射。此外，穿过薄膜的光会在基底（金属）和薄膜界面（R2）处反射。光学干涉法通过测量由光程差引起的相位偏移所导致的光学干涉现象，并根据获得的反射光谱和折射率来计算薄膜厚度。分析方法主要有四种：峰谷法、频率分析法、非线性最小二乘法和优化法。

 规格

规格

测量波长范围300-800纳米

测量薄膜厚度范围

（SiO2当量）3纳米至35微米

斑点直径φ1.2毫米

样本量φ200×5(H)mm

测量时间0.1 至 10 秒

电源交流100伏±10% 300伏安

尺寸、重量280（宽）×570（深）×350（高）毫米，24公斤

我司代理及优势品牌一览明细：

代理品牌：CCS晰写速SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉

NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机

SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt写真化学、NIPPON GEAR日本齿轮

NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 东丽  watson沃森  DIC迪爱生   INNODIS 一诺迪思  ARLIN艾阿尔

优势品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、TAKASAG代理O高砂、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西

SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、TORAY东丽、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC

S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学

AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野、ANRITSU安立计器

IMV艾目微、MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣、HEIDON新东科学KURABO仓纺、SHOWA昭和、THINKY新基、AIKOH爱光、SEM坂本电机

SURUGA骏、SANSYO三商、ITOH伊藤、NAGARISHI成茂、

RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等

优势产品：日本紫外线照度计、紫外线装置灯管、LED视觉光源、表面检查灯、手持检测灯

变色灯箱、色差仪、卤素光源装置、氧气浓度计、焊接机、应力表面检查仪、LED光源机、电子天平、粘度计、膜厚计、恒流泵、采样泵、PH计、水分计、地震测试仪、脱泡搅拌机、压力传感器、气体检测仪、接近开关、拉拔机、异音检测仪、应变测试仪、拉针仪、水平测试仪等