进口OTSUKA大塚 OPTM-A3 显微薄膜厚度计
【ELSZneo将光散射法在物理性质评估领域
　　　　推向新高度】
ELSZ系列中的顶级型号ELSZneo，除了能够测量稀溶液到浓溶液中的zeta电位和粒径外，还能测量分子量

进口OTSUKA大塚 OPTM-A3 显微薄膜厚度计

进口OTSUKA大塚 OPTM-A3 显微薄膜厚度计

OPTM系列显微薄膜厚度计

OP™（Optimum Microscope）是一款利用显微光谱技术测量微小区域绝对反射率，从而实现对薄膜厚度和光学常数进行高精度分析的设备。

它能够以非破坏性和非接触式的方式测量各种薄膜、晶圆和光学材料上的涂层和多层膜的厚度。该设备可实现高速测量，每点测量仅需1秒。此外，它还配备了相应的软件，即使是初次使用者也能轻松分析光学常数。

产品信息

规格

测量项目

测量示例

产品信息

从视频测量到结果

特征

该主机集成了测量薄膜厚度所需的所有功能。

利用显微光谱技术进行高精度绝对反射率测量（多层膜厚度、光学常数）

在不到一秒的时间内高速测量一个点。

可在显微镜下实现宽测量波长范围（紫外到近红外）的光学系统

利用区域传感器的安全机制

简易分析向导：即使是初学者也能轻松进行光学常数分析

具有宏功能，可让您自定义测量顺序。

也可以分析复杂的光学常数（多点分析法）。

兼容 300mm 平台

支持多种自定义选项

测量顺序可以根据样品的形状和位置轻松定制。

规格

规格

类型OPTM-A1OPTM-A2OPTM-A3

波长范围230–800 纳米360–1100 纳米900–1600 纳米

薄膜厚度范围*11纳米至35微米7纳米至49微米16纳米至92微米

样本量* 2最大尺寸 200 x 200 x 17 毫米

斑点直径φ5、φ10、φ20、φ40 微米

*以上规格包含自动XY平台功能。

*1 薄膜厚度范围是基于SiO2计算的。

*2 有关 300 毫米平台，请另行咨询。

类型自动XY平台类型固定框架类型内置式头部

尺寸

（宽×深×高）556 x 566 x 618 毫米368 x 468 x 491 毫米210×441×474 毫米

90×250×190 毫米*

重量66公斤38公斤23公斤

4公斤*

最大功耗交流100V±10V 500VA交流100V±10V 400VA

* 交流/直流电源单元

我司代理及优势品牌一览明细：

代理品牌：CCS晰写速SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉

NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机

SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt写真化学、NIPPON GEAR日本齿轮

NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 东丽  watson沃森  DIC迪爱生   INNODIS 一诺迪思  ARLIN艾阿尔

优势品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、TAKASAG代理O高砂、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西

SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、TORAY东丽、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC

S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学

AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野、ANRITSU安立计器

IMV艾目微、MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣、HEIDON新东科学KURABO仓纺、SHOWA昭和、THINKY新基、AIKOH爱光、SEM坂本电机

SURUGA骏、SANSYO三商、ITOH伊藤、NAGARISHI成茂、

RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等

优势产品：日本紫外线照度计、紫外线装置灯管、LED视觉光源、表面检查灯、手持检测灯

变色灯箱、色差仪、卤素光源装置、氧气浓度计、焊接机、应力表面检查仪、LED光源机、电子天平、粘度计、膜厚计、恒流泵、采样泵、PH计、水分计、地震测试仪、脱泡搅拌机、压力传感器、气体检测仪、接近开关、拉拔机、异音检测仪、应变测试仪、拉针仪、水平测试仪等