精选OTSUKA大塚 SF-3/300 光谱干涉厚度计
【ELSZneo将光散射法在物理性质评估领域
　　　　推向新高度】
ELSZ系列中的顶级型号ELSZneo，除了能够测量稀溶液到浓溶液中的zeta电位和粒径外，还能测量分子量

精选OTSUKA大塚 SF-3/300 光谱干涉厚度计

精选OTSUKA大塚 SF-3/300 光谱干涉厚度计

超快光谱干涉厚度计

该系统可对晶圆和树脂的研磨和抛光过程进行非接触式、超高速、实时和高精度的测量。

产品信息

可以进行非接触式、非破坏性的厚度测量。

反射式光学系统（可从一侧接触进行测量）

可实现高速（最高 5kHz）和实时评估。

稳定性高（重复性为 0.01% 或更低）。

耐粗糙度强

支持任意距离。

支持多层结构（最多 5 层）

内置功能，可排除无效数据

要点1：凭借我们独特的技术

它支持多种薄膜厚度，并可实现高波长分辨率。

大塚电子的独特技术被集成于紧凑的机身中。

要点2：高速响应

由于它可以精确测量运动物体，

因此非常适合工厂生产线使用。

要点 3：适用于各种表面状况的样品。

光斑直径约为 φ20μm，

即使对表面状况各异的样品，也可以进行厚度测量。

第四点：适用于各种环境

由于它可以测量最远 200 毫米的距离，

因此可以创建适合您目的和应用的测量环境。

测量项目

厚度测量（5层）

目的

各种类型的厚膜厚度

*1：测量初始参考样品气隙约为 1000 μm 时的相对标准偏差 (n = 20)。
*2：使用 WD80 mm 探头时的设计值。

我司代理及优势品牌一览明细：

代理品牌：CCS晰写速SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉

NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机

SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt写真化学、NIPPON GEAR日本齿轮

NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 东丽  watson沃森  DIC迪爱生   INNODIS 一诺迪思  ARLIN艾阿尔

优势品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、TAKASAG代理O高砂、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西

SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、TORAY东丽、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC

S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学

AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野、ANRITSU安立计器

IMV艾目微、MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣、HEIDON新东科学KURABO仓纺、SHOWA昭和、THINKY新基、AIKOH爱光、SEM坂本电机

SURUGA骏、SANSYO三商、ITOH伊藤、NAGARISHI成茂、

RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等

优势产品：日本紫外线照度计、紫外线装置灯管、LED视觉光源、表面检查灯、手持检测灯

变色灯箱、色差仪、卤素光源装置、氧气浓度计、焊接机、应力表面检查仪、LED光源机、电子天平、粘度计、膜厚计、恒流泵、采样泵、PH计、水分计、地震测试仪、脱泡搅拌机、压力传感器、气体检测仪、接近开关、拉拔机、异音检测仪、应变测试仪、拉针仪、水平测试仪等