产品分类
PRODUCT CLASSIFICATIONLD-600氧化锆型EtherCAT氧气浓度计东丽TORAY
LD-600氧化锆型EtherCAT氧气浓度计东丽TORAY
氧化锆型EtherCAT氧气浓度计LD-600/SD传感器
低于 10 ppm
10 ppm 或更多
1000ppm(0.1%)或更多
负压/大气压
直流电源
EtherCAT
CE标志
LD-600/SD EtherCAT 通信氧气浓度计是本公司在半导体、电子行业用氧气浓度计领域多年积累的制造经验,充分利用其制造技术,专门为真空设备等开发的产品。
配备了本公司 的小型氧化锆传感器,可实现长期稳定、高精度的测量,同时还配备了氧气传感器保护机制,实现了超越传统产品的耐用性。此外,氧气传感器和转换单元设计为分离的,使其非常适合纳入需要更高速处理的设备和应用中。
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方面
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产品特性
- 可以进行 EtherCAT 通信
非常适合嵌入使用 EtherCAT 通信的设备和应用程序。
・可节省安装空间
氧传感器与薄型转换器分离,大大减少了安装空间的限制。
・适用于真空环境
直插式传感器不需要采样,因此即使在真空环境下也可以进行测量。
- 超快响应
单独的传感器提供最短的响应时间。
-高度耐用的传感器
传感器采用特殊涂层以确保高耐用性。
*有关SD传感器的详细特性和规格,请参阅SD传感器产品目录。
・符合标准
CE标志:EN61010-1、EN61326-1
RoHS指令:EN63000
商品名称
EtherCAT®是德国 Beckhoff Automation GmbH 授权的注册商标和 技术。
LD-600 前面板
SD传感器(4种)
产品规格
设备规格
形状分离型(转换器:固定/壁挂式,传感器:直插式)
显示方式无显示
测量范围0.001ppm 至 100%(10 -20至 10 -0 atm 设置可选)
以 ppm 为单位的浮点输出
传感器连接ISO 真空法兰 NW16、25、40
或 R3/8 螺纹
联系转换器与传感器之间的连接是通过专用线进行的,
标准长度为2m,最大长度为10m。
参考气体气氛
大量的转换器LD-600:约。 0.8公斤
传感器SD16NW:大约0.2kg
SD25NW:约0.2kg
SD40NW:约0.35公斤
外形尺寸转换器LD-600:65(宽)x 130(高)x 125(深)
(单位:mm,不包括突出部分)
传感器SD16NW:总长100mm(检测部φ11×39、主体部φ40×51)
SD25NW:总长100mm(检测部φ11×42、主体部φ40×48)
SD40NW:总长100mm(检测部φ11×41、主体部φ40×49)
(单位:mm,不包括突起部分)
注:根据客户对各个检测部分的规格,传感器单元将是SD16NW、SD25NW或SD40NW之一。
特征
重复性0 至 1% 范围或以上:±0.5%FS 或
以下 0 至 1% 范围以下:±1.0%FS 或±0.1ppm,取较大者
*0 至 1ppm 范围或以下不保证
气点稳定性±1%FS以下/24小时
预热时间6分钟或更短
工程规格
通信输出规格通信方式:EtherCAT I/F(符合 ETG 5003.1、ETG5003.2)
配置文件:通用设备配置文件
协议:兼容 ETG 5003.1 CDP(CoE、FoE)
样气条件请勿在还原性气氛中使用。另外,如果测量气体的比热较高,例如高浓度的He,则可能无法使用它。
温度:0~100℃
压力:10 -3 Pa~200 kPa(绝对压力)
湿度:低于环境温度的
露点 流量:0.5~5 L/min或0 L/min(自然扩散条件下测定)
预热时间6分钟或更短
电源电源:DC24V、3A
功耗:80VA(稳定时:30VA)
安装条件安装位置:室内,非防爆区域
环境温度:转换器:0 至 40°C
传感器单元:0 至 50°C
环境湿度:35 至 80% RH(无凝结)
安装温度:转换器:0 至 40°C
传感器单元:0 至 100°C
不得包含易燃成分、卤素、二氧化硅或腐蚀性成分
对于上述规格以外的要求,请另行联系我们。
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