Canonanelva佳能真空 电离真空计 M-311HG
我们提供与该系列产品兼容的显示器。
大尺寸数字液晶显示屏清晰易读，显著提升了操作便捷性。
您可以根据应用需求选择单通道或三通道型号。

Canonanelva佳能真空 电离真空计 M-311HG

Canonanelva佳能真空 电离真空计 M-311HG

• 我们提供与该系列产品兼容的显示器。
    大尺寸数字液晶显示屏清晰易读，显著提升了操作便捷性。
    您可以根据应用需求选择单通道或三通道型号。

  型号名称离子计

M-311HG-SP M-311HG-RS

压力测量范围1× 10⁻⁷至10帕

输入电压20至28伏直流电

功耗12瓦

模拟输出0 至 10 伏-

设定点2点继电器输出

界面- RS485

输入/输出连接器 Dsub-9（男声）

最大电缆长度 200 米（1平方毫米）

工作温度范围 5至50摄氏度

存储温度范围 -20 至 70°C

传感器型号名称微型BA压力表（MG-2I系列）

传感器材料（主要部件）灯丝：Y 2 O 3 /Ir，外壳：SUS304

外形尺寸（毫米）110×70×50

法兰形状NW16、NW25、ICF34、ICF70

一致CE认证、RoHS认证、IP40防护等级

从10 -7 Pa 到 10 Pa 的宽压力测量范围，使得在溅射过程之外的低真空区域进行测量成为可能，而不会牺牲超高真空侧的特性。

高响应模拟输出

压力值的模拟信号输出保证在 100 毫秒内实现高响应，也可用于过程压力控制。

根据应用场景，可以选择四种发射电流设置模式，例如在高压环境下使用时可提高灯丝寿命。

 生产真空设备的压力测量

半导体溅射设备的压力测量

各种真空设备