Canonanelva佳能真空 电容式压力表 M-342DG
。温度依赖性低，无需温度调节机构即可实现优异的稳定性。
抗振抗噪性能优异。
结构紧凑，功耗低

Canonanelva佳能真空 电容式压力表 M-342DG

Canonanelva佳能真空 电容式压力表 M-342DG

 电容式压力表“M-342DG"是一款隔膜式真空压力表，其压力传感器部分采用小型硅MEMS芯片，可最大限度地减少温度、振动和气压波动等外部因素的影响，从而实现高精度、稳定的压力测量，并最大限度地减少频繁零点调整的需要。

成分

特征

目的

规格

外部尺寸

特征

压力测量精度高、稳定性

好。零点稳定性 

。温度依赖性低，无需温度调节机构即可实现优异的稳定性。

抗振抗噪性能优异。

结构紧凑，功耗低

。重量仅200克，尺寸为宽46毫米 x 高49毫米 x 长106毫米（*1）。

功耗：0.5瓦。

*1 重量和尺寸适用于NW16接头规格。

 广泛适用于真空环境下高精度、长期稳定的压力测量。

用于半导体、显示器、太阳能电池等的各种真空设备

・溅射、PECVD 和其他真空沉积工艺的压力控制和监测

・装载锁室、晶圆冷却等气体引入工艺以及系统压力管理

广泛应用于医疗、生物、食品等行业，以及各种研发应用。涉及

多种涂层、等离子处理、真空密封、真空炉、分析设备、灭菌、真空泵评估、分子蒸馏等领域。

型号名称M-342DG

-1D-1N-11-12-13

满量程压力（Pa）13.33133.31.333千13.33k133.3k

测量精度（读数的百分比）0.20（23°C 时）

零点温度系数（% FS/℃）0.010.0050.002

跨度温度系数（读数的百分比/℃）0.010.005

分辨率（占满量程的百分比）0.010.005

测量下限压力（满量程的百分比）0.01

实际测量下限压力（满量程的百分比）0.05

实际控制下限压力（占满量程的百分比）0.5

响应时间（毫秒）10030

压力上限200 kPa（但是，对于 NW16 和 NW25，内部压力不能为正。）

*13.33 Pa 规格为 130 kPa。

电源电压（VDC）+13.5 至 26.4

功耗（瓦）0.5

模拟输出（VDC）0到10

工作温度/存储温度（℃）0 至 50/-20 至 70（非运行状态）

最大电缆长度（米）100（专用电缆）

零点调整方法按钮开关，远程输入

输入/输出连接器D-sub 9针（公头）

气体接触材料SUS304、SUS316、硅、玻璃、氟橡胶

法兰形状和质量NW16（200 克）、NW25（210 克）、8-VCR 女性（250 克）、φ70ICF（460 克）

一致CE认证、RoHS认证、IP40防护等级

证券交易管制条例不适用

兼容的显示设备M-601GC（单通道连接型），M-603GC（三通道连接型）