Canonanelva佳能真空 电离真空计 M-431HG
自动真空设备中的压力测量
溅射等工艺压力的测量与控制
多腔室系统中的压力测量
通用真空设备的压力测量

Canonanelva佳能真空 电离真空计 M-431HG

Canonanelva佳能真空 电离真空计 M-431HG

 M-431HG 是一款专为微型真空计设计的真空计控制电源。

成分

特征

目的

规格

外部尺寸

特征

外部输入/输出和 RS-232C 通信功能是标准配置

输入电压为宽电压

符合CE认证和RoHS指令

 自动真空设备中的压力测量

溅射等工艺压力的测量与控制

多腔室系统中的压力测量

通用真空设备的压力测量

 型号名称M-431HG

压力显示范围0.01×10 -7 ～ 13.2×10 0 Pa  *1

压力显示数字式自动测量范围切换

设定点2 点标准（带滞后）

D/A 输出对数或组合输出可切换（0 至 10 V）

模拟输出0 至 10 伏（APC 兼容输出）

外部控制功能

（远程操作）输入耗材开关、参数锁定、

耗材切换、脱气开关、范围保持

 输出设置点 1、2、耗材开/关状态

、脱气状态、耗材 1/2 状态

沟通功能标配 RS232C 接口（9600、4800、2400、1200bps）

外形尺寸（毫米）和重量104宽 x 99高 x 296深 1.2公斤

功耗50 VA AC90 至 240 V 50/60 Hz  *2

发射电流10 μA、100 μA、1 mA（自动切换或固定）

气体释放电网电流加热方式，电流定时器 3 分钟

灯丝开关关键和远程 I/O 操作

纤维保护灯丝关闭，压力为13.3 x 10 0 Pa

标准配置真空表主体（不含测量球和电缆）

一致CE认证，RoHS

*1 测量范围请参考测量球MG-2部分。

*2 M-431HG随附的交流电源线规格为100V。如需用于200V电源，请另行