Canonanelva佳能真空 M-351PG 皮拉尼压力计
半导体和电子器件制造设备，例如
干法刻蚀设备、等离子CVD设备、LD-CVD设备等。
食品和药品生产设备：
真空冷冻干燥设备、真空蒸馏设备、灭菌设备等。

Canonanelva佳能真空 M-351PG 皮拉尼压力计

Canonanelva佳能真空 M-351PG 皮拉尼压力计

半导体和电子器件制造设备，例如

干法刻蚀设备、等离子CVD设备、LD-CVD设备等。

食品和药品生产设备：

真空冷冻干燥设备、真空蒸馏设备、灭菌设备等。

 型号名称M-351PG-SP

（镍丝规格）（带设定点）

测量压力范围5×10-2至1× 105 (Pa)

精度（Pa）±50%：5×10 -2 　～ 1×10 -1

±15%：1×10 -1 　～ 1×10 4

±50%：1×10 4 　～ 1×10 5

可重复性±2%：1× 10⁻¹至　1×10⁴ Pa

输入电压+14 至 30 伏直流电

功耗2瓦

模拟输出0 至 10 伏

测量识别电阻值13 KΩ（D-sub引脚5和9之间）

设定点2触点输出（1A 30V，直流）

界面-

输入/输出连接器D-sub 9针

 电缆长度支持200 米（0.34 平方毫米）*1

工作温度范围5至60°C

存储温度范围-20 至 70°C（非工作温度）

烘焙温度<+150°C（O 型圈规格，仅限压力表头）

<+300°C（金属密封规格，仅限压力表头）

允许的过载压力1 MPa（仅限 NPT 接头、惰性气体、绝对压力）

适用皮拉尼传感器型号MP-2

法兰形状NW16、NW25、1/8NPT

传感器材料（主要部件） 皮拉尼丝：镍；

传感器管：不锈钢；引线

端子绝缘：科瓦玻璃+氧化铝涂层

一致 CE认证、RoHS认证、IP40防护等级

*1) 连接 M-601/603GC 显示单元时，仪表电缆的最大长度为 100 米。

1. 提高了耐腐蚀性，
   采用镍丝等。

2. 高重现性和低成本

3. 可测量范围从5×10⁻² ^{Pa到大气压}