INFICON英福康 UL1000 FAB 氦气泄漏测量仪
. QMG 800
质谱仪QMG 800
以 的灵敏度、精确度和 分析能力挑战极限

INFICON英福康 UL1000 FAB 氦气泄漏测量仪

INFICON英福康 UL1000 FAB 氦气泄漏测量仪‍

UL1000 Fab

氦气 泄漏检测仪UL1000 Fab

ULTRATEST™ 传感技术

ULTRATEST™ 传感技术

工业真空和半导体制造中，真空泄漏检测的“干式"标准。

INFICON UL1000 Fab 氦气检漏仪是工业或半导体环境中经济型氦气真空泄漏检测的v标准。

通过仪器的干式泵技术，可以消除被测部件或设备被碳氢化合物或颗粒污染的可能性。UL1000 FAB在高性能、超高稳健性和经济性之间提供了优良的性价比。它提供 的 10-12 mbar·l/s 检测极限，具备合理的短抽气时间和响应时间的特点。紧凑的设计提供了高度的机动性，方便进入空间有限的维修区域。可选的背景本底抑制（iZERO）功能能够在2秒内实现低于现有背景本底水平状态持续进行泄漏测试。

所有特性都使您能够缩短泄漏测试工作的时间，同时确保可以经济实惠地检测出所有泄漏。

使用 SMART-Spray 和 SPRAY-Check

SMART-Spray 大型氦气瓶和笨重的软管，从而增强了检漏功能。它简化了流程，减少了手动氦气流量调整，最大限度地减少了错误。该工具使泄漏检测更快、更简单、更可靠，同时保持较低的氦气消耗量和背景水平。

此外，SPRAY-Check（喷淋检漏）可确保检漏仪的功能性和就绪状态。它适用于 10-⁹ 至 10-⁸ mbar∙l/s 范围，可在测试过程中提供可靠的检查。

优势

通过缩短抽气时间和响应时间加快泄漏检测工作

通过使用可选的背景抑制（Izero），避免需要进行多次泄漏测试。

通过紧凑的设计方便进入空间有限的维护区域

通过耐用的两个热丝离子源（三年保修）和逆流式真空系统实现低拥有成本 (TCO)

通过可旋转显示、声音和灯光泄漏提示以及可选的远程控制降低应用难度

通过内置泄漏测试和自动校准程序实现低成本维护

典型应用

对清洁度要求严苛的工业真空设备制造

在将真空组件或子组件安装到现有工具中之前

真空工具的维护工作，无论是否有泵的支持

工艺气体系统的检查和安装

半导体、平板显示器或太阳能电池制造

规格

UL1000

UL1000 Fab

氦气最小泄漏检测率（真空法） mbar•L/s < 5·10-12 

氦气最小检测泄漏率（嗅探模式） mbar•L/s < 5·10-8 

最大。入口压力 GROSS 模式 mbar 15 

最大入口压力 FINE（精细）模式 mbar 2 

最大入口压力 ULTRA 模式 mbar 0.4 

前置真空泵类型   油封 

排空时的泵速 m³/h 16 at 50 Hz 

氦气抽速 ULTRA 模式 L/s 2.5 

可检测到的质量   2,3,4 amu 

质谱仪 扇形领域   180° 

灯丝离子束 铱/钇涂层   2 

经校准的内置泄漏测试 mbar•L/s E-7 

测试端口   DN 25 KF 

可调节触发器   2 

界面   RS232 

图表记录器输出 V 2x10 

输入/输出   与 PLC 兼容 

允许环境温度（运行期间） °C +10.....+40 

重量 kg

lb 110

242 

尺寸（长 x 宽 x 高） mm

in 1068 x 525 x 850

42 x 21 x 33 

电源电压 V (AC)

V (AC)

V (AC) 230 (±10%) 50Hz

115 (±10%) 60Hz

100 (±10%) 50/60Hz 

耗电量 VA 1100 

订购信息

零件编号

附件

550-000A UL1000, 230 V AC, DN 25 KF 

550-001A UL1000, 115 V AC, DN 25 KF 

550-002A UL1000, 100 V AC, DN 25 KF 

550-100A UL1000 Fab, 230 V AC, DN 25 KF 

550-101A UL1000 Fab, 100/115 V AC, DN 25 KF 

550-102 UL1000 Fab, 230 V AC, DN 40 KF 

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