INFICON英福康 UL6000 Fab PLUS 真空检漏仪
. QMG 800
质谱仪QMG 800
以 的灵敏度、精确度和 分析能力挑战极限

INFICON英福康 UL6000 Fab PLUS 真空检漏仪

INFICON英福康 UL6000 Fab PLUS 真空检漏仪‍

UL6000 Fab 系列

氦气 泄漏检测器UL6000 Fab 系列

UL6000 Fab / UL6000 Fab PLUS 检漏仪

ULTRATEST™ 传感器技术

为泄漏测试的速度和精度设定标准

用于半导体应用的氦气检漏仪系列

INFICON UL6000 氦气检漏仪旨在满足最为苛刻的泄漏检测应用的要求。UL6000采用INFICON专有软件算法I·CAL和HYDRO·S，采用经过现场验证的真空设计，提供了测试灵活性、高灵敏度和快速准确的结果，使任何泄漏检测应用程序快速而简单。

UL6000 在所有测试范围内均可实现快速响应，从达到测试条件到获得最终结果的整个周期时间极其短暂。此专门设计的真空架构可以提供持续高速的氦气泵速以及极其快的响应，能够满足您的需求。

高效泄漏测试

泄漏检测既耗时又复杂。通过测量上升率（RoR），半导体和真空设备在运行过程中受到持续监控。在通过该整体泄漏测试显示泄漏后，使用氦气喷射（喷氦）方法定位泄漏位置，以便进行所需的维修。随后是另一次使用压力增加或所谓的真空衰减测量的泄漏测试——这是一个复杂的过程，需要重复进行，直到检测到所有泄漏。此外，为了尽可能精确，对于大的设备体积，该程序的测量时间通常特别长。得益于我们的智能上升率功能I·RISE，新的UL6000 Fab PLUS现在可以单独进行压力上升测量，并将其与氦气喷射(喷氦）方法相结合。我们的 系统使测量时间大幅下降，从而有助于最大限度地减少泄漏测试和晶圆厂设备维护的一般时间。体验更快、更超前。

使用 SMART-Spray 优化泄漏测试 I·BOOST 和 SPRAY-Check

SMART-Spray 大型氦气瓶和笨重的软管，从而增强了检漏功能。它简化了流程，减少了手动氦气流量调整，最大限度地减少了错误。该工具使泄漏检测更快、更简单、更可靠，同时保持较低的氦气消耗量和背景水平。

I-BOOST 是高效、精确检漏的理想选择，可节省高达 50% 的检漏时间。它的响应时间更短，可对各种腔体进行快速、精确的测量，从而提高效率和准确性。此外，SPRAY-Check（喷淋检漏）可确保检漏仪的功能性和就绪状态。它适用于 10-⁹ 至 10-⁸ mbar∙l/s 范围，可在测试过程中提供可靠的检查。

免费 SMART Spray 演示

使用 SMART-Spray 改变您的泄漏测试流程。

免费 SMART Spray 演示

优势

HYDRO-S (HYDROgen-Suppression) 能够快速达到测试条件。

UL6000 Fab PLUS - 其他优势拥有I-RISE，我们的智能上升率： 提供设备内压力上升测试，并结合氦气喷射（喷氦）方法

在10秒内完成上升率的测量

有助于最大限度地减少泄漏测试和工厂设备维护的一般时间

更快，更精确

I-CAL（智能 - 泄漏率计算算法） 确保对所有测试范围内的泄漏做出快速响应。

特殊的多进口涡轮分子泵可以在所有压力下提供优良氦气泵速和高氦气压缩率，从而提供 灵敏度、快速响应和清洗。

涡轮分子泵可以对任何测试对象（包括最大容量和最大腔室）提供极其快速的响应。

经过验证的 INFICON 扇形磁场质谱仪采用 、免维护设计，历经数年仍可提供准确且可重复的结果。

自我保护功能可保护 UL6000 免受氦气和粒子污染，甚至还设有自动冲净周期，确保 UL6000 随时可用。

旋转式显示器/控制接口和可选远程手动控制器提供操作灵活性。

可通过软件启用对装置和系统软件的访问控制，从而阻止未经授权地使用或意外修改测试设定。

通过电子邮件升级软件，确保您的 UL6000 始终处于优良工作状态。

新型工作站设计，带有优良高度的工作台面，并且配备有防静电台垫和工具箱，便于测试。

典型应用

半导体和平板显示器工具上的测试元件、部件和大型腔室泄漏测试

半导体和平板显示工具的泄漏测试

航空元件、部件和系统的泄漏测试

储存容器/储罐的泄漏测试

规格

UL 6000 Fab

UL 6000 Fab PLUS

氦气 检测漏率 (真空模式) 毫巴∙升/秒<5∙ 10-12  

氦气 检测漏率 (吸枪模式) 毫巴∙升/秒<5∙ 10-8

最大进气压力 (MASSIVE 模式)   大气压（~1013 毫巴）

粗抽泵类型   roots 罗茨

最大抽速度 立方米/小时 >36

抽速 @ 进气口 (100-1000 mbar)  立方米/小时 23

抽速 @ 进气口 (10-100 mbar 和 1-10 mbar) 立方米/小时 二十六

最大氦气抽速 (ULTRA 模式) 升/秒 >36

最大氦气抽速 DN63 减少到DN40 升/秒 ~ 30

抽空时间（到 1 mbar 在腔体50 L下） 秒 52

50 L的响应时间 秒 1.4

我司代理及优势品牌一览明细：

代理品牌：CCS晰写速  SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉

NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机

SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt写真化学、NIPPON GEAR日本齿轮

NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 东丽 watson沃森  RIYYO理阳

Düsen-德国 Schlick AMETEK-LAND兰德 Advantec 东洋 Eppendorf艾本德 OPTOSKY奥谱天成

APEX精锐 ‌Bettersizer丹东百特 Teledyne FLIR YOKOGAWA横河 METROL美德龙 shimadzu島津 SIBATA柴田科学 NICHIRYO立洋 东丽TORAY BANNER邦纳 Mitutoyo三丰 Sanyo Trading三洋 NITTA 霓达 牧田makita METTLERTOLEDO梅特勒 本特利Bently AIDA 会田 KYOWA共和 FUJIKIN 富士金 富士电机Fuji 德国DIAS HIOKI日置 美国checkline 美国Sutter VACUUBRAND德国 INFICON英富康 东方马达ORIENTAL MOTOR NIDEC尼得科 美国advancedenergy SATOVAC佐藤 SICK 西克

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