INFICON英福康 UL3000 Fab ULTRA 氦气仪
. QMG 800
质谱仪QMG 800
以 的灵敏度、精确度和 分析能力挑战极限

INFICON英福康 UL3000 Fab ULTRA 氦气仪

INFICON英福康 UL3000 Fab ULTRA 氦气仪‍

UL3000系列

氦气 泄漏检测器UL3000系列

UL3000 Fab/UL3000 Fab ULTRA

采用 ULTRATEST ™ 传感器技术的移动式氦气检漏仪

移动式氦气检漏仪：专为半导体应用中的检漏需求而设计。

它具有灵活性、移动性、快速启动、高灵敏度、快速和精确的测试结果以及可靠性。

由于更高的空气泵送速度，更快的泵降（排空）时间。

由于低维护的根部粗加工泵，总拥有成本（TCO）更低。

由于HYDRO-S软件消除了水蒸气背景，更早地开始检漏，使得快速达到敏感测量范围成为可能

UL3000 Fab ULTRA还通过使用成熟的吸污管线SL3000提供了改进的吸污能力，该吸污管线长度可达10米。SL3000有一个单独的连接端口，因此不需要连接到真空入口。

快速的结果

改进后的真空系统带有低维护的真空泵，可以从大气压开始检测泄漏。坚固的质谱仪系统确保了长时间的运行和低维护成本。

可旋转的显示器和可远程控制的用户接口

新的触摸屏显示，即使在远距离也能显示测试结果和状态信息。通过用户指导的菜单结构，即使是没有经验的操作员也能轻松操作。通过智能手机或平板电脑可以对UL3000 Fab（ULTRA）进行无线控制--无需特殊软件或Apps。通过按钮记录和存储测试结果，可以传输到其他存储介质，以便进一步分析。

纤细的设计，*的可操作性

低重心、大轮子、符合人体工程学设计的手柄和纤细的外壳使UL3000 Fab (ULTRA)即使在狭小的空间也有良好的移动性。

使用 SMART-Spray 优化泄漏测试 I·BOOST 和 SPRAY-Check

SMART-Spray 大型氦气瓶和笨重的软管，从而增强了检漏功能。它简化了流程，减少了手动氦气流量调整，最大限度地减少了错误。该工具使泄漏检测更快、更简单、更可靠，同时保持较低的氦气消耗量和背景水平。

I-BOOST 是高效、精确检漏的理想选择，可节省高达 50% 的检漏时间。它的响应时间更短，可对各种腔体进行快速、精确的测量，从而提高效率和准确性。此外，SPRAY-Check（喷淋检漏）可确保检漏仪的功能性和就绪状态。它适用于 10-⁹ 至 10-⁸ mbar∙l/s 范围，可在测试过程中提供可靠的检查。

免费 SMART Spray 演示

使用 SMART-Spray 改变您的泄漏测试流程。

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优势

采用I-CAL软件算法，在10-9至10-12mbar-l/s范围内快速测量，节省时间

使用I-ZERO 2.0进行 的检漏，其改进的智能功能可在保持高测量灵敏度的同时进行快速背景抑制

适用于真空和嗅探检漏

通过快速排空和响应时间，最大限度地减少检漏工作

纤细的设计，易于操作，节省时间

坚固的离子源（3年保修）和逆流真空系统使总拥有成本（TCO）较低

逆流式真空系统

易于使用，由操作员指导的人机界面，带有全彩高分辨率可旋转显示器

UL3000 Fab ULTRA：由于HYDRO-S软件消除了水蒸气背景，使其有可能迅速达到敏感的测量范围，从而更早开始检漏。

UL3000 Fab ULTRA: 由于更高的空气泵送速度，更快的泵降（排空）时间

根部泵的速度更快

UL3000 Fab ULTRA: 由于根部泵的低维护率，总拥有成本（TCO）更低。粗加工泵。

UL3000 Fab ULTRA：通过使用久经考验的吸污管线SL3000，该检漏仪还提供了改进的吸污能力，其长度可达10米。SL3000有一个单独的连接端口，因此不需要连接到真空入口。

典型应用

半导体工厂

平板显示器制造

太阳能电池的制造

玻璃和卷材（卷对卷）镀膜

一般真空镀膜和应用

规格

UL3000 工厂

UL3000 Fab ULTRA

粗加工泵的最大泵送速度 立方米/小时 >30

氦气抽吸速度（高敏感模式ULTRA）。 升/秒 4

尺寸（长x宽x高） 毫米

英寸 1050x472x987

42x21x34

附加功能 具有最高抽气速度的罗茨干泵，HYDRO-S，用于SL3000的独立吸气管口，真空软管支架

订购信息

零件编号

附件

易耗品

550-260 UL3000 Fab ULTRA

550-200 UL3000 工厂

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