OHKURA大仓 MF5113B 质量流量计
MF5100B 系列是一款质量流量计/质量流量控制器，它兼具易用性和高性能，包括宽流量范围、高温度稳定性和三种模式的软启动功能。

OHKURA大仓 MF5113B 质量流量计

OHKURA大仓 MF5113B 质量流量计

 MF5100B 系列是一款质量流量计/质量流量控制器，它兼具易用性和高性能，包括宽流量范围、高温度稳定性和三种模式的软启动功能。

特征

■宽广的流量

范围 我们提供从  5 SCCM 到最高 400 SLM 的宽广流量范围。

■高可靠性

通过集成各个回路并优化机械系统，我们实现了紧凑尺寸下的高可靠性。

■软启动功能

内置的软启动功能提供可调节的线性启动时间（最长 70 秒），并可在三种模式下运行（更改设置时、开机时以及外部阀门关闭后再打开时）。

■高稳定性

温度稳定性为 0.05%/°C，泄漏标准最高可达 1× 10⁻¹⁰ Pa·m³ / s (He)。

*有关规格，请参阅规格表。

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