英福康INFICON 半导体残余气体分析仪
. QMG 800
质谱仪QMG 800
以 的灵敏度、精确度和 分析能力挑战极限

英福康INFICON  半导体残余气体分析仪

英福康INFICON  半导体残余气体分析仪

 Transpector® XPR 3+

质谱仪Transpector® XPR 3+

扩大的压力范围 RGA - 传感化创新

监测并控制快速过程变化

新的 Transpector XPR 3+ 残余气体分析仪 (RGA) 提供 的测量速度，以监测并控制现代半导体和显示屏生产所需的快速过程变化。Transpector XPR 3+ 非常适合于现场空气漏点、气体纯度、碳氢化合物和污染监测。相比定期上升率测试，Transpector XPR 3+ 进行的实时测量可提供 的产品保护

通过 工具使用时间促进盈利能力

Transpector XPR 3+ RGA 是用于溅射压力范围应用的经实践验证的四极和双离子源传感器。无需压力转换设备，部件使用寿命长，能快速检测并诊断问题，从而 工具可用性、产品吞吐量和产量。传感器可在高真空到 20 mTorr 范围连续工作，无需泵。Transpector XPR 3+ 双离子源腔室设计用于限制涂层，以保持离子源灵敏度，并延长传感器平均维护时间。

优势

从高真空到 PVD 流程压强条件下，能够高灵敏度地检测空气泄漏和污染，实时保护晶圆和面板

  PM 效率和工具正常使用时间，具有快速可靠的腔室条件

通过延长使用寿命、防污染、双离子源设计最小化总体拥有成本；无需泵，即可监测高达 20 mTorr 的压强。低压 EM 变体可提供成本敏感的替代选择

通过强大数据采集与同步实现无缝工厂集成和可靠阻断

通过定制配方优化增强 生产能力

通过即时现场专家响应保护关键过程需求

典型应用

PVD 和溅射过程模块

预清洗模块

非群集 PVD 工具

夹钳式除气模块

技术规格

质量位置稳定性 <0.1 amu over 24 hours 

  灵敏度（FC 模式） ≥4E-7 amps/Torr (3E-7 amps/mbar) 

  灵敏度（标称） ≥8E-3 amps/Torr (3E-3 amps/mbar) 

  最小可检测分压（FC 模式） ≤1E-9 Torr (1.3E-9 mbar) 

  最小可检测分压（EM 模式） ≤6E-12 Torr (8E-12 mbar) 

  最大工作压力（FC 或 EM 模式） 20 mTorr (2.6E-2 mbar) 

  最大工作压力（线性操作） 10 mTorr (1.3E-2 mbar) 

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手册

Transpector XPR 3+ Brochurepdf•1,5 MB•英文•手册

手册

3D Step Files

该产品被用于以下市场

分析仪器

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电池

从电极生产到生产线终端EOL终端的测试

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显示器

INFICON汇聚 科技，实现*高质量的显示器产品

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能源

传统的石油和天然气生产在过去几十年中出现了需求的增长，并被发展中国家的人口增长、城市化和中产阶级的消费所推动。

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工业制造

其中，真空技术大多用于保证清洁的环境，并且在某些过程中需要维持真空以确保过程顺利实施。

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移动和汽车

在一个不断发展的行业中进行可靠的泄漏测试 。 汽车行业的变化使泄漏检测变得更加重要。

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医药和医疗

提高生产力，帮助满足制药业的合规标准和质量要求

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研究与学术

通过基础研究揭开宇宙最深层的神秘面纱。今天的创新为您明天的技术研发提供动力

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半导体IDM和晶圆代工厂

为支持广泛的应用而定制的传感器，确保产品安全、提高产量和*高生产力。

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真空镀膜

真空镀膜市场远远超出了光学领域，正在迅速扩展到十年前几乎无法想象的领域、行业和薄膜层。

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了解我们使用 Transpector 进行的研究项目

应用

31 Jul 2024

利用先进传感技术增强自主机器人技术

集成先进传感系统

公司

26 Apr 2024

通过原位校准加强水下质谱仪在

                                                                                             法语

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