INFICON英福康 QuantusHP100 气体分析仪
. QMG 800
质谱仪QMG 800
以 的灵敏度、精确度和 分析能力挑战极限

INFICON英福康 QuantusHP100 气体分析仪

INFICON英福康 QuantusHP100 气体分析仪

 光学气体分析仪Quantus® HP100

实时泄漏检测、端点检测和过程监控

INFICON Quantus HP100气体分析仪基于自等离子体光发射光谱技术（SPOES），旨在提供半导体制造过程中的实时泄漏检测、端点检测和过程监控。Quantus HP100具有出色的灵敏度，外形紧凑，提供宽广的操作压力范围，无需昂贵的泵，因此非常适合大多数半导体工具的过程监控和保护。

特点

氩气的操作范围为1 Torr - 450 Torr，氮气的操作范围为1 Torr - 120 Torr（其他气体种类则有所不同）

低检测限<1 ppm

使用标准KF25连接，安装方便

快速采样（最大20赫兹）

占地面积小（高x宽x长）：6.4 x 6.0 x 8.3 in. [162 x 153 x 210 mm］

低维护，不需要泵或消耗品

方便的现场可更换的等离子池

为您的特殊工艺需求提供全球专家支持

规格

操作压力 1 Torr - 450 Torr (取决于应用) 

  光谱仪性能 200至850纳米波长（紫外-可见光） 16位全尺度分辨率，3648像素 

  检测极限 < 1 ppm (取决于应用) 

  曝光时间 最少1毫秒 

  真空配件 KF25 

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应用说明

手册

Quantus HP100 Brochurepdf•175,4 KB•英文•手册

手册

3D文件

该产品被用于以下市场

分析仪器

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显示器

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工业制造

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