英福康INFICON 台式残余气体分析仪
. QMG 800
质谱仪QMG 800
以 的灵敏度、精确度和 分析能力挑战极限

英福康INFICON  台式残余气体分析仪

英福康INFICON  台式残余气体分析仪

质谱仪Transpector® MPH

的性能提高良率并使正常运行时间

持续上升的硅晶圆价格以及对成品的需求意味着废弃晶圆需要付出 的代价。因此，在半导体制造中心了解过程并监测缺陷也变得更加重要。Transpector MPH 气体分析系统专门用于让您的系统在所有气体分析应用中都实现业内 的性能，有助于最大限度地提高芯片产量，降低工具停工时间。Transpector MPH 兼具总拥有成本低和平均故障间隔时间长的优点，在帮助您赢利方面的作用优于市面上的任何其他残余气体分析仪 (RGA)。

INFICON 利用在气体分析过程控制设备领域的专长制造的 RGA 具有行业 的数据采集速度，可检分压强和信噪比 所有这些特性都不会牺牲 INFICON Transpector 气体分析仪一贯出色的可靠性。

功能

最大模拟扫描和选定峰值的数据速率为每点 1.8 ms

TCP/IP 以太网连接

双丝极

可现场更换电子倍增器

组合阳极、阴极和反射极丝极套件

较短的传感器可降低安装占地面积

九个数量级的动态量程

<2E-15 Torr 的MDPP（100 amu）

信噪比更高

可调换传感器和电子元件

传感器在洁净室环境中装配、测试并进行双层包装

符合 RoHS 标准

技术规格

每小时100英里

MPH100F

MPH200M

MPH200F

MPH300M

MPH300F

质量范围 100阿姆

最小可检测分压  2E-15 托

灵敏度 (FC) 6E-4 A/托

灵敏度 (EM) 500 安培/托

最大工作压力 5E-4 托

配件

961-021-G1 电源套件 80 - 250 VAC / 4 英尺（1.2 米）美国插头

961-021-G2 电源套件 80 - 250 VAC / 4 英尺（1.2 米）美式插头，带 15 英尺（4.5 米）延长线

961-021-G3 电源套件 80 - 250 VAC / 4 英尺（1.2 米）美式插头，带 30 英尺（9 米）延长线

961-021-G4 电源套件 80 - 250 VAC / 4 英尺（1.2 米）230V 插头

961-021-G5 电源套件 80 - 250 VAC / 4 英尺（1.2 米）230V 插头，带 15 英尺（4.5 米）延长线

961-021-G6 电源套件 80 - 250 VAC / 4 英尺（1.2 米）230V 插头，带 30 英尺（9 米）延长线

600-1190-P8 7米以太网电缆

600-1190-P15 以太网15米电缆

600-1428-P1 电源延长线 - 15 英尺（4.5 米）

600-1429-P1 电源延长线 - 30 英尺（9 米）

961-417-G1 带按钮 Wi-Fi 的 4 端口以太网路由器

961-418-G1 8端口以太网交换机

961-702-G1 皮拉尼联锁套件

914-024-G1 角阀套件，手动（包括加热器）

914-026-G1 MPH 角阀套件，电动气动 24 V（DC）（包括加热器）

961-029-G1 MPH 加热器套件 120 VAC

961-029-G2 MPH 加热器套件 230 VAC

备件

耗材

961-416-P1 备用 MPH 加热套

914-407-P1 备用阀门加热套（如果独立使用则需要加热器电源线）

600-1117-P1 备用加热器电源线 120 VAC

600-1117-P2 备用加热器电源线 230 VAC

914-410-P1 备用角阀，手动

914-220-G1 气动备用角阀

961-206-G2 MPH 扩展套件

961-205-G2 MPH HPR 扩展套件

961-022-G1 备用 O 形圈和螺母套件

074-5007-G1 气体分析产品手册CD

备件

MPH100F

每小时100英里

MPH200F

MPH200M

MPH300F

MPH300M

961-H1FAS MPH 传感器，100 AMU FC（MPH100F），带 Y2O3/Ir 灯丝

961-H1FBS MPH 传感器，100 AMU FC（MPH100F），带钨丝

MP-H10S MPH 电子盒，100 AMU FC 或 EM/FC（MPH100F、MPH100M），带以太网

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SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt写真化学、NIPPON GEAR日本齿轮

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