OHKURA大仓 MF1111B 质量流量计
MF1100B系列是一款高性能、低成本的质量流量计/质量流量控制器。它提供15个流量范围，从5 SCCM到20 SLM，可轻松应用于从分析到工业应用的各种领域。

OHKURA大仓 MF1111B 质量流量计

OHKURA大仓 MF1111B 质量流量计

质量流量计/质量流量控制器/

MF1100B

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规格表（第三版）

MF1100B系列是一款高性能、低成本的质量流量计/质量流量控制器。它提供15个流量范围，从5 SCCM到20 SLM，可轻松应用于从分析到工业应用的各种领域。

特征

■高可靠性：

内部电路的集成确保了可靠性和紧凑性。

■高兼容性：

可与我们的MF5100B系列使用相同的管道连接器、电源和设定装置。

■丰富的周边设备：

提供指示器、设定装置、电源和带连接器的电缆等周边设备。

规格

模型质量流量计质量流量控制器

标准系列低价商品通用产品低价商品通用产品

控制范围MF1121BMF1111BMF1171B（NC）

MF1181B（NO）MF1141B（NC）

MF1151B（NO）

准确度评级0~5 SCCM 0~100 SCCM 0~2 SLM

0~10 〃 0~200 〃 0~3 〃

0~20 〃 0~300 〃 0~5 〃

0~30 〃 0~500 〃 0~10 〃

0~50 〃 0~1,000 〃 0~20 〃0.1~5 SCCM 2~100 SCCM 0.04~2 SLM

0.2~10 4~200 0.06~3

0.4~20 6~300 0.1~5

0.6~30 10~500 0.2~10 1.0～

50 20～1,000 0.4～20

控制范围-2-100%FS

准确度评级±2%FS 或更小±1.5%FS 或更低±2%FS 或更小±1.5%FS 或更低

线性±1%FS 或更小±0.7%FS 或更低±1%FS 或更小±0.7%FS 或更低

可重复性±0.2%FS 或更低±0.2%FS 或更低±0.2%FS 或更低±0.2%FS 或更低

响应时间输出电压在大约 3 秒内收敛到设定值的 ±2% FS 范围内。

最大工作压力1.0兆帕

抗压性能1.5兆帕

压力损失5.0千帕

工作压差-5SCCM~5SLM：34~275kPa；

10~20SLM：69~275kPa

流量设置-0至5V直流0至5V直流（标准）

1至5V直流（可选）

输出信号0至5V直流0至5V直流（标准）

1至5V直流（可选）

工作温度范围5至45°C（与气体温度相同）

安装位置误差±0.5%FS 或更低（自由安装方向）

泄漏标准1.013×10 -9・m 3 /s(He) 或更低（标准）

管道连接1/4 Swagelok（标准），VCR（可选）

气体接触材料SUS316，氟橡胶SUS316不锈钢、氟橡胶、氟树脂

大量的约680克约800克

功耗1VA 或更少3VA 或更低