otsuka大塚电子 FE-5000 多功能光谱椭偏仪 除了能够进行高精度薄膜分析的光谱椭偏仪之外，该系统还配备了自动可变测量角度机构，使其适用于所有类型的薄膜。除了传统的旋转分析器方法之外，该系统还配备了自动延迟板安装/拆卸机构，从而提高了测量精度。

otsuka大塚电子 SM-100P 智能涂层测厚仪　 测量目标 　・光学薄膜 　・涂层薄膜 （防反射薄膜、粘合层等） 　・半导体 （氧化膜、光刻胶膜等） 　・各种薄膜 （食品薄膜、医用薄膜、建筑材料薄膜等）