全新ADVANCE RIKO先进理工 热流评估装置
该设备是现有红外加热设备RTP-6的紧凑型桌面版本。
它取消了传统的排气装置，并采用了冷却风扇，从而降低了噪音，实现了高效冷却和安静加热。

全新ADVANCE RIKO先进理工 热流评估装置

全新ADVANCE RIKO先进理工 热流评估装置

# ADVANCE RIKO アドバンス理工｜先进理工（日本）

**定位：日本专业热物性测试设备 + 红外快速热处理炉厂商**，主打半导体、热电材料、陶瓷、新能源、高校 / 科研院所、材料实验室设备，国内半导体、材料研究院、高校、第三代半导体企业采购较多アドバンス...

## 两大产品线

### 一、红外快速热处理炉（RTP / 快速退火 RTA，主力销售）

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> 红外金面反射炉，冷壁式、升降温极快，可真空 / 气氛（氢气、氮气、氩气），用于晶圆退火、氧化、还原、晶化、硅化物工艺

1. **RTA 系列（产线级快速热退火炉）**

RTA-2000/4000/6000/8000：2~8 英寸晶圆，最高 1000℃，升温速率最高 200℃/s；半导体、化合物半导体、SiC、光伏晶圆工艺开发与小批量产线アドバンス...

2. **MILA 系列（台式小型灯退火炉，科研最爆款）**

MILA-5000 / MILA-5050：桌面小型，样品最大 50mm 方块，RT~1200℃，紧凑型，实验室样品快速热处理；MILA-700AR 风冷款，无需冷却水，高校、研发实验室 アドバンス...

3. **RTP-6 经济型 RTP**：6 寸以内样品，最高 1100℃，9 区控温，适合工艺预研，性价比款アドバンス...

4. QHC / VHC 系列：可变气氛红外加热炉，适合催化剂、陶瓷、薄膜样品热处理

✅ 核心优势（跟客户沟通卖点）

- **冷壁红外金反射加热**：升降温速度快、热均匀性好，样品不易污染

- 气氛丰富：真空、N₂、Ar、H₂还原气氛，适配薄膜、第三代半导体、氧化物材料

- 小型台式机型（MILA）占地小，PC 编程工艺曲线，可自动记录温度数据

- 从实验室研发机型到 8 寸晶圆量产 RTA 全覆盖，支持定制腔体、气氛方案

### 二、热物性测试仪器（材料表征）

1. **ZEM-3 系列 塞贝克系数 + 电阻率测试仪（热电材料 ）**

同步测塞贝克系数、电导率；从低温 - 100℃到高温 1000℃；热电材料、半导陶瓷，符合 JIS 标准；可加薄膜测试选件アドバンス...

2. **TC 系列 激光闪射法热扩散系数仪 TC-1200RH / TC9000**：导热系数、热扩散、比热容测试，金属、陶瓷、复合材料

3. F-CAL 多层基板热阻测试仪：针对复合多层材料（金属 + 树脂、碳化硅基板）稳态热流法，激光闪射难以测的低阻多层材料

4. SuperLIX 激光干涉超高精度热膨胀仪、PEM 热电模块发电效率评估系统等

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