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山金ADVANCE RIKO先进理工 红外灯加热装置
山金ADVANCE RIKO先进理工 红外灯加热装置
# ADVANCE RIKO アドバンス理工|先进理工(日本)
**定位:日本专业热物性测试设备 + 红外快速热处理炉厂商**,主打半导体、热电材料、陶瓷、新能源、高校 / 科研院所、材料实验室设备,国内半导体、材料研究院、高校、第三代半导体企业采购较多アドバンス...
## 两大产品线
### 一、红外快速热处理炉(RTP / 快速退火 RTA,主力销售)
>
> 红外金面反射炉,冷壁式、升降温极快,可真空 / 气氛(氢气、氮气、氩气),用于晶圆退火、氧化、还原、晶化、硅化物工艺
1. **RTA 系列(产线级快速热退火炉)**
RTA-2000/4000/6000/8000:2~8 英寸晶圆,最高 1000℃,升温速率最高 200℃/s;半导体、化合物半导体、SiC、光伏晶圆工艺开发与小批量产线アドバンス...
2. **MILA 系列(台式小型灯退火炉,科研最爆款)**
MILA-5000 / MILA-5050:桌面小型,样品最大 50mm 方块,RT~1200℃,紧凑型,实验室样品快速热处理;MILA-700AR 风冷款,无需冷却水,高校、研发实验室 アドバンス...
3. **RTP-6 经济型 RTP**:6 寸以内样品,最高 1100℃,9 区控温,适合工艺预研,性价比款アドバンス...
4. QHC / VHC 系列:可变气氛红外加热炉,适合催化剂、陶瓷、薄膜样品热处理
✅ 核心优势(跟客户沟通卖点)
- **冷壁红外金反射加热**:升降温速度快、热均匀性好,样品不易污染
- 气氛丰富:真空、N₂、Ar、H₂还原气氛,适配薄膜、第三代半导体、氧化物材料
- 小型台式机型(MILA)占地小,PC 编程工艺曲线,可自动记录温度数据
- 从实验室研发机型到 8 寸晶圆量产 RTA 全覆盖,支持定制腔体、气氛方案
### 二、热物性测试仪器(材料表征)
1. **ZEM-3 系列 塞贝克系数 + 电阻率测试仪(热电材料 )**
同步测塞贝克系数、电导率;从低温 - 100℃到高温 1000℃;热电材料、半导陶瓷,符合 JIS 标准;可加薄膜测试选件アドバンス...
2. **TC 系列 激光闪射法热扩散系数仪 TC-1200RH / TC9000**:导热系数、热扩散、比热容测试,金属、陶瓷、复合材料
3. F-CAL 多层基板热阻测试仪:针对复合多层材料(金属 + 树脂、碳化硅基板)稳态热流法,激光闪射难以测的低阻多层材料
4. SuperLIX 激光干涉超高精度热膨胀仪、PEM 热电模块发电效率评估系统等
山金工业是家日本综合商社,总部在日本大阪,主要做mro工业品服务,代理AND爱安德 SANKO山高 RIYYO理阳 SIBATA柴田科学 AMADA山田 TOKI东机产业 HEIDON新东科学 NS精密科学 NPM脉冲 NKKATO日陶 OHKURA大仓 THOMAS托马斯 SUGIYAMA杉山电机 ULVAC爱发科 Kakuhunter写真化学 EBARA荏原 OTSUKA大塚電子 ARLIN艾阿尔 HAYASHI 林时计 NIPPON GEAR日本齿轮 watson沃森 ORIHARA折原
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