原装ADVANCE RIKO先进理工 激光热膨胀仪
该设备是现有红外加热设备RTP-6的紧凑型桌面版本。
它取消了传统的排气装置，并采用了冷却风扇，从而降低了噪音，实现了高效冷却和安静加热。

原装ADVANCE RIKO先进理工 激光热膨胀仪

原装ADVANCE RIKO先进理工 激光热膨胀仪

进入膨胀精度为1 × 10⁻⁸ /K 或更低的领域

 的超高精度热膨胀测量 *，作为一款商业化的大规模生产的测量设备。

应用示例

零膨胀材料的开发

负极热膨胀材料的开发

标准材料的开发

驱动器材料的开发

目的

对膨胀系数极低的材料（玻璃、陶瓷、金属等）进行高精度膨胀测量，精度可达 10⁻⁸/K 量级-

半导体生产中与曝光相关的组件测量

- 精密平台组件测量

- 航空航天所需高精度材料的测量

- 高精度摄影底片组件测量

低膨胀系数材料的质量控制

特征

通过在设备内部加入隔振机构，可以防止振动干扰的影响，从而能够在可稳定使用典型分析电子天平（分辨率 0.01 mg）的环境中进行测量。（日本 申请 2016-058190、058191、058192）

以激光波长（632.8 nm）为参考测量样品位移。通过集成光学元件，可以消除杂散光，从而提高干涉条纹信号的信噪比。位移校准无需任何特殊测量或操作。

通过图像传感器检测干涉条纹并处理图像，即使在样品测量过程中，也可以高分辨率地计算位移量（膨胀/收缩），从而确认膨胀率。

规格

模型SuperLIX-R

温度范围标准型 5-50°C（采用高精度恒温循环系统）

样品尺寸φ5 或 □5±0.5mm × 长度 20mm（标准样品尺寸：φ5 × 20mmL，标准样品端面为圆弧形）

测量大气减压大气

测量方法双光路迈克尔逊激光干涉测量法

公用事业

安装空间尺寸约为 1200 毫米（宽）x 760 毫米（深）x 1600 毫米（高）

*移除腔室后，需要 2500 毫米（高）或更多的空间。

所需功率电脑（显示器、主机）：AC100V 15A（带接地插座）2个位置；

排气系统：AC200V 三相 15A 1个位置；

气体引入系统：AC100V 单相 15A 1个位置；

恒温水循环泵：AC100V 15A（带接地插座）1个位置

需要接地D类（接地电阻≤100Ω）1个位置

✅ 核心优势（跟客户沟通卖点）

- **冷壁红外金反射加热**：升降温速度快、热均匀性好，样品不易污染

- 气氛丰富：真空、N₂、Ar、H₂还原气氛，适配薄膜、第三代半导体、氧化物材料

- 小型台式机型（MILA）占地小，PC 编程工艺曲线，可自动记录温度数据

- 从实验室研发机型到 8 寸晶圆量产 RTA 全覆盖，支持定制腔体、气氛方案

### 二、热物性测试仪器（材料表征）

1. **ZEM-3 系列 塞贝克系数 + 电阻率测试仪（热电材料 ）**

同步测塞贝克系数、电导率；从低温 - 100℃到高温 1000℃；热电材料、半导陶瓷，符合 JIS 标准；可加薄膜测试选件アドバンス...

2. **TC 系列 激光闪射法热扩散系数仪 TC-1200RH / TC9000**：导热系数、热扩散、比热容测试，金属、陶瓷、复合材料

3. F-CAL 多层基板热阻测试仪：针对复合多层材料（金属 + 树脂、碳化硅基板）稳态热流法，激光闪射难以测的低阻多层材料

4. SuperLIX 激光干涉超高精度热膨胀仪、PEM 热电模块发电效率评估系统等

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