进口代理 INNODIS一诺迪思 自动气动阀
初次投产前使用超纯水循环冲洗泵体内部，去除加工残留微粒；输送强腐蚀药液停机后，必须用 UPW 纯水置换冲洗泵腔，避免药液结晶腐蚀膜片

进口代理 INNODIS一诺迪思 自动气动阀

进口代理 INNODIS一诺迪思 自动气动阀‍

流量计

涡轮式数字流量计

特征

它结构简单，便于操作和检查，可以显示瞬时流量和累积流量，并可使用 4-20mA 或触点输出信号。

结构简单，使用和维护方便，显示瞬间流量和累计流量，可使用4-20mA或切点输出信号。

它结构简单，易于操作和检查，可以显示瞬时和累积流量，并可使用 4-20mA 或触点输出信号。

该装置结构简单，易于操作和进行日常检查。它能够显示瞬时流量和累计流量，并可使用 4-20mA 或继电器输出信号。

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 # INNODIS 一诺迪思 IMVT-F14iE（山金工业进口代理）

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> IMVT 系列：**二通 PFA 气动隔膜阀，IMVM 系列同平台衍生款，中等流量，φ14mm 规格**

## ✅型号拆解 IMVT-F14iE

- **IMVT**：系列代号，PFA 气动隔膜阀（半导体 CDU 专用）

- **F14**：配管规格 **φ14mm（9/16"）**

- **iE**：Mega-Lock 入珠式 锁紧接头，抗震动、防松脱漏液，半导体药液管路主流接头

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> 后缀补充：完整型号一般会追加 **1 = 常开 NO / 2 = 常闭 NC；S1 = 无阀位反馈 / V1 = 带阀位反馈**

> IMVT-F14iE 基础型号，订货时**必须确认常闭 / 常开、是否需要 V1 阀位反馈**

> 驱动：默认单作用弹簧复位（通气开启，断气复位关闭 NC）

## ✅核心参数

- 阀体：高纯 PFA；隔膜膜片：PTFE；**介质侧零金属浸润，低离子析出，满足 SEMI 标准**

- 驱动气源：CDA 洁净干燥压缩空气，驱动气压 0.4~0.6 MPa

- 适用介质：HF 、TMAH、强酸强碱、UPW 超纯水，半导体腐蚀性药液

- 工作温度：0~90℃

- 最大流体压力：0.5MPa

- 流道：平滑 ，支持 CIP 在线清洗，减少药液残留交叉污染

- 洁净等级：Class100 百级洁净室装配、真空独立包装

## ✅新增全部一诺迪思阀门汇总更新表

表格

| 型号 | 品类 | 通径 | 定位 | 阀位反馈 | 推荐安装位置 |

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| IMVD-F12ICF1-2-S1 | PFA 气动隔膜阀 | 1/2" | 紧凑型小阀 | S1 无反馈 | 支管、狭小取样回路 |

| IMVB3-T12I | PFA 气动隔膜阀 | 1/2" | 中流量隔膜阀 | 基础款无反馈 | CDU 分支主管 |

| IMVM-F12iE-V1 | PFA 气动隔膜阀 | 1/2" | 中大流量隔膜阀 | ✅V1 带反馈 | CDU 药液分支主管，需要信号反馈管路 |

| IMVM-F34iE-V1 | PFA 气动隔膜阀 | 1" | 大口径隔膜阀 | ✅V1 带反馈 | CDU 主输送总管 |

| **IMVT-F14iE** | **PFA 气动隔膜阀** | **φ14mm(9/16")** | **中流量隔膜阀** | 可选 S1/V1** | CDU 药液支管，φ14 专用管路 ** |

| VCH-E12iE-M1 | PFA 气动球阀 | 1/2" | 大通径球阀 | 可另选配反馈 | 大流量主管（不频繁 CIP） |

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> 重点区分：IMVT-F14iE 通径 φ14mm，介于 1/2"(φ12) 和 3/4"(φ19) 之间，是**9/16 英寸特殊规格管路**，IMVM 没有 φ14 规格，这个是 IMVT 专属尺寸。

## ✅产品优势

1. Mega-Lock 入珠锁紧接头，设备长期震动工况不易松脱漏液；

2. PFA+PTFE 高纯氟塑料，耐强腐蚀药液，低金属析出，适配晶圆制程高纯度要求；

3. 流道，支持 CIP 在线清洗，适合药液频繁置换场景；

4. 模块化结构，膜片可单独更换，维保备件成本更低；

5. 可选 V1 阀位反馈，PLC 实时读取阀门状态，满足机台安全联锁。

## ✅适用场景

半导体 CDU 化学品分配单元、湿法清洗设备 φ14 药液管路；面板、光伏腐蚀药液输送回路。

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> 客户矩阵多元：如果他们机台有 φ14（9/16"）PFA 药液管路，选用 IMVT-F14iE；1/2" 选 IMVD/IMVB3/IMVM-F12。

## ✅询价条目（直接复制）

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> INNODIS 一诺迪思 PFA 气动隔膜阀

> 型号：IMVT-F14iE；φ14mm（9/16"）Mega-Lock 入珠接头；PFA 阀体 + PTFE 隔膜；单作用弹簧复位，请确认常闭 NC / 常开 NO，S1 无反馈 / V1 带阀位反馈；耐 HF、TMAH、酸碱、超纯水；最高 90℃；

> 需求：报价、货期、材质证明、SEMI 认证、产品规格书。

## ✅选型提醒

1. IMVT 是 φ14mm 特殊规格，**不能直接替换 φ12 的 1/2" 阀门，管路口径不匹配**；

2. V1 = 带阀位反馈；S1 版本不带反馈，无法回传开关信号；

3. 接口为 Mega-Lock 入珠式，管路需要配套 INNODIS 入珠 PFA 管件。

我们这边是家日本综合商社，做日货工业品这款 我司代理及优势品牌一览明细：

代理品牌：CCS晰写速SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克、SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉、NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机、SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt写真化学、NIPPON GEAR日本齿轮、NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 东丽  watson沃森  DIC迪爱生   INNODIS 一诺迪思  ARLIN艾阿尔

优势品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、TAKASAG代理O高砂、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西、SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、TORAY东丽、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC、S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学、AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野、ANRITSU安立计器、IMV艾目微、MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣、HEIDON新东科学KURABO仓纺、SHOWA昭和、THINKY新基、AIKOH爱光、SEM坂本电机、SURUGA骏、SANSYO三商、ITOH伊藤、NAGARISHI成茂、RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等。

优势产品：日本紫外线照度计、紫外线装置灯管、LED视觉光源、表面检查灯、手持检测灯

变色灯箱、色差仪、卤素光源装置、氧气浓度计、焊接机、应力表面检查仪、LED光源机、电子天平、粘度计、膜厚计、恒流泵、采样泵、PH计、水分计、地震测试仪、脱泡搅拌机、压力传感器、气体检测仪、接近开关、拉拔机、异音检测仪、应变测试仪、拉针仪、水平测试仪等。