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原装代理 INNODIS一诺迪思 气动隔膜阀
原装代理 INNODIS一诺迪思 气动隔膜阀
IMVD 系列:紧凑型 PFA 气动隔膜阀,体积小巧,适合机柜狭小空间,这只是 3/8"(φ9.5mm)规格,带 V1 阀位反馈
IMVD:系列代号,紧凑型 PFA 气动隔膜阀(半导体 CDU、湿法机台支管专用,阀体小巧)
F38:配管规格 3/8 英寸(3/8",φ9.5mm)
iCE:Mega-Lock 入珠式 锁紧接头,抗震动防松脱,半导体 PFA 管路标准接头
V1:内置阀位反馈传感器,可向 PLC 回传阀门开 / 闭信号,机台联锁监控 ;S1 = 无反馈版本
驱动:单作用弹簧复位 NC 常闭(通气开启,断气弹簧自动关闭,安全型)
阀体:高纯 PFA;隔膜膜片:PTFE;介质侧 无金属浸润,低离子析出,满足 SEMI 标准
驱动气源:CDA 洁净干燥压缩空气,驱动气压 0.4~0.6 MPa
适用介质:HF 、TMAH、强酸强碱、UPW 超纯水,半导体各类腐蚀性药液
工作温度:0~90℃
最大流体压力:0.5MPa
流道:平滑 ,支持 CIP 在线清洗,减少药液残留交叉污染
洁净等级:Class100 百级洁净室装配、真空独立包装
特点:紧凑型阀体,节省机柜内部空间;V1 阀位反馈,控制系统实时采集阀门状态
表格
| 型号 | 品类 | 通径 | 定位 | 阀位反馈 | 推荐安装位置 |
|---|---|---|---|---|---|
| IMVD-F38iCE-V1 | PFA 气动隔膜阀 | 3/8" | 紧凑型小阀 | ✅V1 带反馈 | 细小取样支管、狭小空间回路,需要阀位信号 |
| IMVD-F12ICF1-2-S1 | PFA 气动隔膜阀 | 1/2" | 紧凑型小阀 | S1 无反馈 | 支管、狭小取样回路 |
| IMVB3-T12I | PFA 气动隔膜阀 | 1/2" | 中流量隔膜阀 | 基础款无反馈 | CDU 分支主管 |
| IMVM-F12iE-V1 | PFA 气动隔膜阀 | 1/2" | 中大流量隔膜阀 | ✅V1 带反馈 | CDU 药液分支主管,需要信号反馈管路 |
| IMVM-F34iE-V1 | PFA 气动隔膜阀 | 1" | 大口径隔膜阀 | ✅V1 带反馈 | CDU 主输送总管 |
| IMVT-F14iE | PFA 气动隔膜阀 | φ14mm(9/16") | 中流量隔膜阀 | 可选 S1/V1 | CDU 药液支管,φ14 专用管路 |
| VCH-E12iE-M1 | PFA 气动球阀 | 1/2" | 大通径球阀 | 可另选配反馈 | 大流量主管(不频繁 CIP) |
重点区分:IMVD-F38iCE-V1 是3/8 寸小口径紧凑型阀,相比 IMVD-F12(1/2")体积更小,用于细小取样管路;V1 带反馈,适合机台需要采集阀门状态的工况。
Mega-Lock 入珠锁紧接头,设备长期震动工况不易松脱漏液;
PFA+PTFE 高纯氟塑料,耐强腐蚀药液,低金属析出,满足晶圆高纯度制程;
流道,支持 CIP 在线清洗,适合药液频繁置换场景;
V1 自带阀位反馈,PLC 实时读取阀门状态,满足半导体设备安全联锁;
阀体紧凑,节省 CDU 机柜狭小空间;膜片可单独更换,维保备件成本低。
半导体 CDU 化学品分配单元、湿法清洗设备 3/8" 取样 / 细小药液支管;面板、光伏腐蚀药液输送回路。
客户矩阵多元:机台取样支路、小流量药剂回路,需要阀位信号反馈,优先 IMVD-F38iCE-V1。
INNODIS 一诺迪思 PFA 气动隔膜阀型号:IMVD-F38iCE-V1;3/8"(φ9.5mm)Mega-Lock 入珠接头;PFA 阀体 + PTFE 隔膜;单作用弹簧复位常闭 NC;V1 带阀位反馈;耐 HF、TMAH、酸碱、超纯水;最高 90℃;需求:报价、货期、材质证明、SEMI 认证、产品规格书。
V1 = 带阀位反馈;S1 版本不带反馈,无法回传开关信号;
接口为 Mega-Lock 入珠式,管路必须配套 INNODIS 入珠 PFA 管件;
IMVD 是紧凑型,流量偏小,适合小流量取样支路,不适合大流量主管。
我们这边是家日本综合商社,做日货工业品这款 我司代理及优势品牌一览明细:
代理品牌:CCS晰写速SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克、SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉、NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机、SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt写真化学、NIPPON GEAR日本齿轮、NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 东丽 watson沃森 DIC迪爱生 INNODIS 一诺迪思 ARLIN艾阿尔
优势品牌:USHIO牛尾、TOPCON拓普康、TAKASAG代理O高砂、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西、SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、TORAY东丽、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC、S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学、AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野、ANRITSU安立计器、IMV艾目微、MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣、HEIDON新东科学KURABO仓纺、SHOWA昭和、THINKY新基、AIKOH爱光、SEM坂本电机、SURUGA骏、SANSYO三商、ITOH伊藤、NAGARISHI成茂、RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等。
优势产品:日本紫外线照度计、紫外线装置灯管、LED视觉光源、表面检查灯、手持检测灯
变色灯箱、色差仪、卤素光源装置、氧气浓度计、焊接机、应力表面检查仪、LED光源机、电子天平、粘度计、膜厚计、恒流泵、采样泵、PH计、水分计、地震测试仪、脱泡搅拌机、压力传感器、气体检测仪、接近开关、拉拔机、异音检测仪、应变测试仪、拉针仪、水平测试仪等。
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