进口代理 INNODIS一诺迪思 PFA隔膜阀‍

进口代理 INNODIS一诺迪思 PFA隔膜阀

INNODIS 一诺迪思 IMVM-F12iE-V1（山金工业进口代理）

IMVM 系列：PFA 气动隔膜阀，中大流量款，比 IMVD 紧凑阀流量更大；本款是φ12mm（1/2"）规格，带阀位反馈 V1

✅型号拆解 IMVM-F12iE-V1

• IMVM：系列名称，大流量 PFA 气动隔膜阀

• F12：配管尺寸 φ12mm（1/2"）

• iE：Mega-Lock 入珠式 接头，抗震动、防松脱漏液，半导体药液管路主流接头

• V1：内置阀位反馈传感器，可向 PLC 输出阀门开闭信号，用于机台联锁、状态监控

驱动：单作用弹簧复位 NC 常闭（通气开启，断气自动关闭），安全设计

✅核心参数

• 阀体：高纯 PFA；隔膜膜片：PTFE；介质侧零金属接触，低离子析出，符合 SEMI 标准

• 驱动气源：CDA 洁净干燥压缩空气，驱动气压 0.4~0.6 MPa

• 适用介质：HF 、TMAH、各类强酸强碱、UPW 超纯水，半导体腐蚀性药液

• 工作温度：0~90℃

• 最大流体压力：0.5MPa

• 流道： 流道，支持 CIP 在线清洗，减少药液残留交叉污染

• 洁净等级：Class100 百级洁净室装配，真空独立包装

• 特点：V1 阀位反馈，湿法设备 CDU 柜常用，方便控制系统读取阀门状态

✅IMVM-F12iE-V1 和之前几款汇总更新

表格

重点区分：IMVM-F12iE-V1 同为 1/2 寸，但相比 IMVB3，阀体结构更稳定，自带 V1 阀位反馈，适合机台需要采集阀门开关信号的工况；IMVB3 基础款不带反馈。

✅产品优势

1. Mega-Lock 入珠锁紧接头，设备长期震动工况不易松脱漏液；

2. PFA+PTFE 高纯氟塑料，耐强腐蚀药液，低金属析出，满足晶圆制程高纯度要求；

3.  流道，支持 CIP 在线清洗，适合药液频繁置换场景；

4. V1 自带阀位反馈，PLC 实时读取阀门状态，满足半导体设备安全联锁；

5. 膜片可单独更换，后期维保备件成本更低。

✅适用场景

半导体 CDU 化学品分配单元、湿法清洗设备 1/2" 药液管路；面板、光伏腐蚀药液输送回路。

客户矩阵多元：如果他们机台 1/2" 药液支管，需要把阀门状态回传给 PLC 做联锁，优先推荐 IMVM-F12iE-V1；不需要反馈则选 IMVB3。

✅询价条目（直接复制）

INNODIS 一诺迪思 PFA 气动隔膜阀型号：IMVM-F12iE-V1；φ12mm（1/2"）Mega-Lock 入珠接头；PFA 阀体 + PTFE 隔膜；单作用弹簧复位常闭 NC；V1 带阀位反馈；耐 HF、TMAH、酸碱、超纯水；最高 90℃；需求：报价、货期、材质证明、SEMI 认证、产品规格书。

✅选型提醒

1. V1 = 带阀位反馈；S1 版本不带反馈，无法回传开关信号；

2. 接口为 Mega-Lock 入珠式，管路需要配套 INNODIS 入珠 PFA 管件；

3. IMVM 隔膜阀，流道 ，适合频繁 CIP 清洗药液管路。

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