精选 KOFLOC科赋乐 质量流量控制器
KOFLOC（中文译名‌科赋乐‌）是源自日本的专业流体控制领域老牌企业，核心聚焦微小流量的测量与控制技术研发，至今已有70余年行业积淀。

精选 KOFLOC科赋乐 质量流量控制器

精选 KOFLOC科赋乐 质量流量控制器

3660系列

■目标流体：气体，例如 N₂、空气、H₂、He、Ar、O₂、CO₂ 等。

■最大流量：气体 10 SCCM 至 100 SLM。

■精度：±1% 至 1.5% FS。

支持宽广的流量范围（以 N₂ 为当量，从 FS10SCCM 到 FS100SLM）。

其产品线覆盖面积极限流量计、流体控制阀、电子流量计、各类流体控制器，以及氮气/氧气/臭氧气体发生器、燃料电池评估装置、水处理设备等，产品广泛应用于半导体、分析仪器、医疗、食品等行业，可满足小批量多品种的定制化需求。

旗下多款产品如带温度补偿的FML-300涡街流量计、ST-500型抗压力波动质量流量控制器，先后获得日本中小企业优秀新技术奖项，技术实力获 可。

标准质量流量控制器

3660

76(108)

19.

2-M4，深度4（2-M4，深度5）

括号内尺寸对应型号3665

1/4VCR

Rc1/4

123.8 102

3665

L尺寸（单位：mm）

3/8SWL：162.4

1/2SWL：166.4

1/2VCR：163.4

Rc3/8：144

二、标准规格表翻译

表格

参数项3660型号3665型号

传感器类型热式线圈传感器热式线圈传感器

阀门类型比例电磁阀（断电关闭）比例电磁阀（断电关闭）

适用气体N₂、空气、氢气、氦气、氩气、氧气、二氧化碳等N₂、空气、氢气、氦气、氩气、氧气、二氧化碳等

满量程流量（氮气换算）10SCCM~20SLM30~100SLM

控制范围2~100%满量程5~100%满量程

响应速度2秒以内（偏差≤±2%满量程）3秒以内（偏差≤±2%满量程）

精度25℃下±1%满量程25℃下±1.5%满量程

温度系数±0.1%满量程/℃（15~35℃区间）±0.2%满量程/℃（15~35℃区间）

重复性±0.5%满量程±0.2%满量程

工作压差满量程≤5SLM时50~300kPa；满量程＞5SLM时100~300kPa满量程≤50SLM时150~300kPa；满量程＞50SLM时200~300kPa

入口最大压力500kPa（表压）1MPa（表压）

耐压值1MPa（表压）1MPa（表压）

氦泄漏率≤1×10⁻¹⁰Pa·m²/s≤1×10⁻¹⁰Pa·m²/s

允许环境温度5~45℃5~45℃

允许存储温度10~60℃10~60℃

允许环境湿度10~90%RH（无凝露）10~90%RH（无凝露）

接气部材质SUS316L、SUS316、磁性不锈钢、FKM（可选NBR或CR）SUS316L、SUS316、磁性不锈钢、FKM（可选NBR或CR）

电气接口D-sub9接口（符合KOFLOC标准，兼容SEMI标准）D-sub9接口（符合KOFLOC标准，兼容SEMI标准）

流量设定信号0~5VDC（输入阻抗≥1MΩ）0~5VDC（输入阻抗≥1MΩ）

流量输出信号0~5VDC（负载电阻≥250kΩ）0~5VDC（负载电阻≥250kΩ）

所需电源+15VDC（±5%）100mA、-15VDC（±5%）250mA+15VDC（±5%）100mA、-15VDC（±5%）250mA

接口规格（本体口径）标准：1/4SWL；可选：1/8SWL、1/4VCR、Rc1/4（9/16-18UNF）标准：3/8SWL；可选：1/2SWL、1/2VCR、Rc3/8（9/16-18UNF）

重量约1000g约1500g

三、备注说明

请在干燥、不含腐蚀成分、粉尘和油雾的洁净气体环境中使用；性能保证仅针对校准气体；氦泄漏率不包含渗透量，长时间渗透的参考泄漏量≤1×10⁻⁹Pa·m²/s。

我司代理及优势品牌一览明细：

代理品牌：CCS晰写速SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉

NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机

SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt写真化学、NIPPON GEAR日本齿轮

NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 东丽  watson沃森  DIC迪爱生   INNODIS 一诺迪思  ARLIN艾阿尔

优势品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、TAKASAG代理O高砂、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西

SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、TORAY东丽、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC

S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学

AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野、ANRITSU安立计器

IMV艾目微、MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣、HEIDON新东科学KURABO仓纺、SHOWA昭和、THINKY新基、AIKOH爱光、SEM坂本电机

SURUGA骏、SANSYO三商、ITOH伊藤、NAGARISHI成茂、

RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等

优势产品：日本紫外线照度计、紫外线装置灯管、LED视觉光源、表面检查灯、手持检测灯

变色灯箱、色差仪、卤素光源装置、氧气浓度计、焊接机、应力表面检查仪、LED光源机、电子天平、粘度计、膜厚计、恒流泵、采样泵、PH计、水分计、地震测试仪、脱泡搅拌机、压力传感器、气体检测仪、接近开关、拉拔机、异音检测仪、应变测试仪、拉针仪、水平测试仪等