kuwana桑名金属 SFC1480FX-D 质量流量计
为了提高半导体生产设备的性能，我们利用优良的研发成果，将高性能、精密流体控制设备商业化，为高科技产业的发展做出了贡献。

kuwana桑名金属 SFC1480FX-D 质量流量计

kuwana桑名金属 SFC1480FX-D 质量流量计

标准满量程流量（N₂换算）

功能

阀门动作流量控制范围

入口侧压力/出口侧压力

工作压力*2

耐压

使用温度范围

精度保证

非通电时加热温度

湿度

温度

安装姿态

二、性能参数

表格

参数项指标详情

N₂气体精度0~100%量程：±(0.5%设定值+0.15%满量程)

2~10%量程：±0.2%满量程

实际气体精度10~100%量程：±(1.5%设定值+0.35%满量程)

2~10%量程：±0.5%满量程

线性度±1.0%满量程

重复性±(0.1%设定值+0.05%满量程)

流量传感器零点偏移保证范围±0.06%满量程

零点年稳定性≤±0.5%满量程/年

零点温度特性±0.01%满量程/℃（15~35℃）；±0.01%设定值/℃（15~35℃）

响应性0%→(20~100%)：1.0秒内达到设定值的±2%设定值以内

0%→(2~20%)：1.5秒内达到设定值的±0.4%满量程以内

外部泄漏规格≤1×10⁻¹¹ Pa·m³/s（He）

流量设定信号0.1~5VDC（绝对额定值±15VDC以内）

流量输出信号0~5VDC（最大输出+15VDC）

所需电源+15VDC +4%，最大140mA

-15VDC +4%，最大140mA

三、材质与接口

阀体、法兰、阀座：SUS316L

隔膜：SUS316L

流量传感器：Ni-Co合金

接气部材质：SUS316L

密封*3：特殊电解研磨（标准）

接气部表面处理：Ni

接头：Wseal™、Cseal、1/4" VCR外螺纹

四、型号与量程

表格

型号组合标准满量程流量

SFC1480FX/SFC2480FX2SCCM~5500SCCM

SFC1481FX/SFC2481FX11SLM

SFC1482FX/SFC2482FX30SLM

SFC1483FX/SFC2483FX50SLM

五、附加说明

本规格是MFC单体在我方标准条件下测得的保证值，根据实际测量条件可能无法 格要求。

也可制作微差压规格SFC147FX/SFC247FX，微差压规格请

也可制作橡胶密封规格，橡胶密封规格请另行咨询。

功能支持：多气体/多量程、常闭/常开模式，流量控制范围2~100%满量程。

压力参数：入口侧0.05~0.3MPaG/0.1~0.3MPaG/0.2~0.3MPaG，出口侧真空~大气压，耐压1.0MPaG。

环境参数：使用温度5~50℃，精度保证温度15~35℃，非通电加热温度≤65℃，湿度35~80%RH（无凝露），安装姿态支持水平、垂直。

我司代理及优势品牌一览明细：

代理品牌：CCS晰写速SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉

NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机

SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt写真化学、NIPPON GEAR日本齿轮

NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 东丽  watson沃森  DIC迪爱生   INNODIS 一诺迪思  ARLIN艾阿尔

优势品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、TAKASAG代理O高砂、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西

SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、TORAY东丽、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC

S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学

AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野、ANRITSU安立计器

IMV艾目微、MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣、HEIDON新东科学KURABO仓纺、SHOWA昭和、THINKY新基、AIKOH爱光、SEM坂本电机

SURUGA骏、SANSYO三商、ITOH伊藤、NAGARISHI成茂、

RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等

优势产品：日本紫外线照度计、紫外线装置灯管、LED视觉光源、表面检查灯、手持检测灯

变色灯箱、色差仪、卤素光源装置、氧气浓度计、焊接机、应力表面检查仪、LED光源机、电子天平、粘度计、膜厚计、恒流泵、采样泵、PH计、水分计、地震测试仪、脱泡搅拌机、压力传感器、气体检测仪、接近开关、拉拔机、异音检测仪、应变测试仪、拉针仪、水平测试仪等