kuwana桑名金属 PS200ATMC 质量流量计
为了提高半导体生产设备的性能，我们利用先进的研发成果，将高性能、精密流体控制设备商业化，为高科技产业的发展做出了贡献。

kuwana桑名金属 PS200ATMC 质量流量计

kuwana桑名金属 PS200ATMC 质量流量计

标准满量程流量（N₂换算）

功能

阀门动作流量控制范围

入口侧压力/出口侧压力

工作压力*2

耐压

使用温度范围

精度保证

非通电时加热温度

湿度

温度

安装姿态

二、性能参数

表格

参数项指标详情

N₂气体精度0~100%量程：±(0.5%设定值+0.15%满量程)

2~10%量程：±0.2%满量程

实际气体精度10~100%量程：±(1.5%设定值+0.35%满量程)

2~10%量程：±0.5%满量程

线性度±1.0%满量程

重复性±(0.1%设定值+0.05%满量程)

流量传感器零点偏移保证范围±0.06%满量程

零点年稳定性≤±0.5%满量程/年

零点温度特性±0.01%满量程/℃（15~35℃）；±0.01%设定值/℃（15~35℃）

响应性0%→(20~100%)：1.0秒内达到设定值的±2%设定值以内

0%→(2~20%)：1.5秒内达到设定值的±0.4%满量程以内

外部泄漏规格≤1×10⁻¹¹ Pa·m³/s（He）

流量设定信号0.1~5VDC（绝对额定值±15VDC以内）

流量输出信号0~5VDC（最大输出+15VDC）

所需电源+15VDC +4%，最大140mA

-15VDC +4%，最大140mA

三、材质与接口

阀体、法兰、阀座：SUS316L

隔膜：SUS316L

流量传感器：Ni-Co合金

接气部材质：SUS316L

密封*3：特殊电解研磨（标准）

接气部表面处理：Ni

接头：Wseal™、Cseal、1/4" VCR外螺纹

四、型号与量程

表格

型号组合标准满量程流量

SFC1480FX/SFC2480FX2SCCM~5500SCCM

SFC1481FX/SFC2481FX11SLM

SFC1482FX/SFC2482FX30SLM

SFC1483FX/SFC2483FX50SLM

自SFC480系列问世以来，我们始终致力于为广大用户提供SAM品牌的高性能质量流量控制器。

搭载采用镍钴合金打造的波形隔膜的阀门，兼具优异耐腐蚀性与稳定控制性能；依托SFC1480F系列落地的最新数字控制技术，我们推出了“双量程质量流量控制器"与“混合型质量流量控制器"。

搭载这些技术的产品，作为SAM品牌标志性的、技术导向鲜明的 色产品，获得了众多客户的认可，成为了畅销爆款。

为回应大家对SAM质量流量控制器进一步升级的期待，在此我们正式向各位介绍将成为下一代核心主力的‌G系列‌。

伴随半导体工艺中晶圆大尺寸化与线路精细化的发展趋势，作为气体供给系统核心部件的质量流量控制器，客户对其提出了“实际气体精度保证"“多气体/多量程（MG/MR）"“压力不敏感（PI）"的需求，G系列正是为适配这些需求迈出全新进化步伐的下一代适配型质量流量控制器。

G系列在沿用本公司过往成熟的隔膜阀结构、数字控制等核心技术的基础上，还具备可适配丰富全新功能的创新特性。

如今，不计成本盲目追求 技术的时代已经落幕，当下的全新行业环境，强烈要求以合理的投入获取适配需求的实用技术。我们认为，新一代质量流量控制器自然也必须适配这种全新的客户价值导向模式。

您可以从G系列的不同等级型号中，挑选出与自身工艺需求最匹配的功能与成本组合的“G"方案。如果您在质量流量控制器的使用选型上遇到困扰，我们将为您推荐G系列作为对应的解决方案。

我司代理及优势品牌一览明细：

代理品牌：CCS晰写速SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉

NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机

SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt写真化学、NIPPON GEAR日本齿轮

NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 东丽  watson沃森  DIC迪爱生   INNODIS 一诺迪思  ARLIN艾阿尔

优势品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、TAKASAG代理O高砂、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西

SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、TORAY东丽、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC

S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学

AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野、ANRITSU安立计器

IMV艾目微、MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣、HEIDON新东科学KURABO仓纺、SHOWA昭和、THINKY新基、AIKOH爱光、SEM坂本电机

SURUGA骏、SANSYO三商、ITOH伊藤、NAGARISHI成茂、

RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等

优势产品：日本紫外线照度计、紫外线装置灯管、LED视觉光源、表面检查灯、手持检测灯

变色灯箱、色差仪、卤素光源装置、氧气浓度计、焊接机、应力表面检查仪、LED光源机、电子天平、粘度计、膜厚计、恒流泵、采样泵、PH计、水分计、地震测试仪、脱泡搅拌机、压力传感器、气体检测仪、接近开关、拉拔机、异音检测仪、应变测试仪、拉针仪、水平测试仪等