kuwana桑名金属 HG200 质量流量控制器
为了提高半导体生产设备的性能，我们利用优良的研发成果，将高性能、精密流体控制设备商业化，为高科技产业的发展做出了贡献。

kuwana桑名金属  HG200 质量流量控制器

kuwana桑名金属  HG200 质量流量控制器

 一、项目

全量程范围（N：换算流量）

流量检测

流量/气体种类指定

响应时间（符合SEMIE17-91标准）

流量精度（N）

线性度

重复性

零点稳定性

外部泄漏率

流量控制范围（HM100/HM101除外）

工作一次侧压力（N）

工作压力（HM100/HM101）

最大工作一次侧压力

工作二次侧压力

阀门关断性能（HM100/HM101除外）

耐压

使用温度范围

内置压力传感器精度（HG200/HG201）

温度传感器精度（HG200/HG201）

阀门类型（HM100/HM101除外）

外部密封材质

接气部材质

接头

表面处理

安装姿态

质量

信号接口

连接器类型

驱动电源

流量设定信号（仅模拟型号，HM100/HM101除外）

流量输出信号（仅模拟型号）

二、参数明细

表格

型号系列参数详情

HG200/HC100/HM10010~5,000SCCM（Multi-1~6）

HG201/HC101/HM1015,001~10,000 SCCM（Multi-7）

10,001~50,000SCCM（Multi-8,9）

检测方式热传感器方式

气体/量程支持多气体、多量程（9个区间）

响应时间HG200/HG201：<0.3s（Multi-1~5），<0.5s（Multi-6,7）

HC100/HC101：<1.0s（Multi-1~7）

HG201：<0.7s（Multi-8,9）

HC101：<1.0s（Multi-8,9）

流量精度<±1%设定值（10~100%满量程），<±0.1%满量程（2~10%满量程）

线性度<±0.5%满量程

重复性<±0.2%满量程

零点稳定性<±0.3%满量程/年

外部泄漏率≤1×10⁻¹¹ Pa·m³/s（He）

流量控制范围0.5~100%满量程（PCTFE阀芯），2~100%满量程（金属阀芯、NO型）

工作一次侧压力50~400kPaG（Multi-1~6）

70~400kPaG（Multi-7）

250~400kPaG（Multi-8,9）

HM100/HM101工作压力20kPaD

最大工作一次侧压力100kPaG

工作二次侧压力真空~大气压（二次侧压力高于大气压时请另行咨询）

阀门关断性能<0.1%满量程（PCTFE阀芯），<1.0%满量程（金属阀芯、NO型）

（N₂，P1=50kPaG（Multi-1~6）、70kPaG（Multi-7）、250kPaG（Multi-8,9），P2=大气压）

耐压HG200/HG201：0.6MPaG

HC100/HC101/HM100/HM101：1MPaG

使用温度范围15~50℃（气体温度需与环境温度一致）

内置压力传感器精度<±5kPa（0~-500 kPa（绝压））

内置温度传感器精度<±1℃（15~50℃）

阀门类型常闭（NC）、常开（NO）型 压电阀

外部密封材质SUS316L

接气部材质常闭（NC）：SUS316、SUS316L、PCTFE、镍钴合金

常开（NO）：SUS316、SUS316L、镍钴合金

接头规格9.52mm 1.125" C密封、9.52mm 1.125"W密封、12.7mm 1/4" VCR型

表面处理电解研磨部（接头、传感器、基座部）Ra≤0.2μm，机械加工部Ra≤0.8μm

安装姿态任意方向

质量约1kg

附加功能压力不敏感功能（仅HG200/HG201系列）

支持microSD卡、配备可显示多种参数的LCD显示屏（仅HG200/HG201系列）

信号接口模拟、数字（RS485、DeviceNet™、EtherCAT）

连接器类型模拟：9Pin D-SUB

RS485、DeviceNet™、EtherCAT：数字维护用RS485/2.5 3极电话连接器（所有型号通用）

驱动电源模拟：+15VDC+4% 90mA，-15VDC+4% 60mA

DeviceNet™：+11VDC 150mA~+25VDC 90mA

EtherCAT：+24VDC+10% 120mA

流量设定信号0~5VDC/0~100%满量程，输入阻抗1MΩ以上

流量输出信号0~5VDC/0~100%满量程，输入阻抗2kΩ以上

三、备注说明

本规格是在单体标准条件下测得的性能值，根据实际使用条件可能无法 规格要求，并非保证所有工况下都符合规格。

0~65%相对湿度以上，环境温度22℃（15~32℃）。

数字模式时，环境温度22℃±3℃。

流量设定信号低于0.5%满量程时，阀门将关闭。

SCCM、SLM是指在0℃、101.3kPa（绝压）状态下的气体流量单位，分别表示mL/min、L/min。

F.S.为满量程的缩写，S.P.为设定值的缩写。

我司代理及优势品牌一览明细：

代理品牌：CCS晰写速SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉

NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机

SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt写真化学、NIPPON GEAR日本齿轮

NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 东丽  watson沃森  DIC迪爱生   INNODIS 一诺迪思  ARLIN艾阿尔

优势品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、TAKASAG代理O高砂、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西

SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、TORAY东丽、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC

S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学

AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野、ANRITSU安立计器

IMV艾目微、MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣、HEIDON新东科学KURABO仓纺、SHOWA昭和、THINKY新基、AIKOH爱光、SEM坂本电机

SURUGA骏、SANSYO三商、ITOH伊藤、NAGARISHI成茂、

RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等

优势产品：日本紫外线照度计、紫外线装置灯管、LED视觉光源、表面检查灯、手持检测灯

变色灯箱、色差仪、卤素光源装置、氧气浓度计、焊接机、应力表面检查仪、LED光源机、电子天平、粘度计、膜厚计、恒流泵、采样泵、PH计、水分计、地震测试仪、脱泡搅拌机、压力传感器、气体检测仪、接近开关、拉拔机、异音检测仪、应变测试仪、拉针仪、水平测试仪等