kuwana桑名金属 FC-R7710D 质量流量计
为了提高半导体生产设备的性能，我们利用优良的研发成果，将高性能、精密流体控制设备商业化，为高科技产业的发展做出了贡献。

kuwana桑名金属 FC-R7710D 质量流量计

kuwana桑名金属 FC-R7710D 质量流量计

Aera FC-R7700系列质量流量控制器 中文翻译

优势

‌高速响应性‌：输入设定值后2秒以内即可实现流量稳定

‌易于安装‌：采用标准连接器与标准尺寸规格

‌高可靠性‌：相比数字型号电子元器件数量更少，且未搭载DC-DC转换器，可长期保持稳定可靠的运行表现

‌低成本‌：兼具出色的经济性、低噪声与低功耗特性，适配无特殊金属密封耐腐蚀、高泄漏性能要求的场景

‌合规性‌：产品符合欧盟RoHS指令要求

特点

‌密封规格‌：采用橡胶密封设计，连接部位符合VCR™、Swagelok™标准

‌流量范围‌：满量程流量覆盖10SCCM~200SLM

‌阀门配置‌：支持常闭型或常开型电磁阀控制阀

‌泄漏指标‌：外部泄漏率不超过1×10⁻⁷ Pa·m³/sec（He）

‌模拟控制‌：是一款采用简易模拟控制的橡胶密封型产品

适用场景

Aera FC-R7700系列可在各类现场场景中稳定发挥作用，适配半导体、平板显示、数据存储设备、工业真空设备、工业涂层等领域，覆盖CVD、PVD、刻蚀、离子注入、溅射、热氧化膜、光学玻璃涂层、光纤、表面处理等各类非腐蚀性气体应用工艺，凭借高可靠性与优异性能，助力工艺及设备工程师提升工作效率。

该系列通过保留标准电气连接部件与关键尺寸，可轻松适配现有系统，相比数字型号还具备低噪声、低功耗的优势；搭载高灵敏度、高速响应的小直径传感器，可实现优异的控制性能，搭配常开/常闭可选的电磁阀控制阀，能灵活适配不同工艺需求。

电气连接

9针D-sub 针接触式连接器

阀门开/关控制：引脚5，规格#4-40UNC

信号定义：

输出信号（直流0~5V，对应0~100%量程）

直流+15V电源

公共端

直流-15V电源

控制信号（直流0~5V，对应0~100%量程）

公共端

公共端

阀门测试端口（直流0~-13V）

引脚6

引脚9

阀门逻辑：

常闭阀门型号：接+15V为开启，接-15V为关闭

常开阀门型号：接+15V为关闭，接-15V为开启

型号与规格代码

表格

分类项说明

产品类型质量流量控制器

RoHS合规性符合RoHS指令要求

满量程流量范围10 SCCM~5 SLM、6~50 SLM、35~200 SLM

控制阀类型常闭型、常开型

连接器规格Aera 9针D型连接器

接口规格1/4英寸VCR标准接口、仅772x系列支持3/8英寸VCR标准接口；1/4英寸Swagelok标准接口、仅772x系列支持3/8英寸Swagelok标准接口

气体参数气体种类、气体流量量程（单位SCCM或SLM）

型号示例

FC-R7700（质量流量控制器，符合RoHS要求，9针D型连接器，常闭阀门，1/4英寸VCR接口，适配N₂气体，满量程200 SCCM）。

我司代理及优势品牌一览明细：

代理品牌：CCS晰写速SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉

NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机

SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt写真化学、NIPPON GEAR日本齿轮

NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 东丽  watson沃森  DIC迪爱生   INNODIS 一诺迪思  ARLIN艾阿尔

优势品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、TAKASAG代理O高砂、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西

SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、TORAY东丽、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC

S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学

AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野、ANRITSU安立计器

IMV艾目微、MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣、HEIDON新东科学KURABO仓纺、SHOWA昭和、THINKY新基、AIKOH爱光、SEM坂本电机

SURUGA骏、SANSYO三商、ITOH伊藤、NAGARISHI成茂、

RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等

优势产品：日本紫外线照度计、紫外线装置灯管、LED视觉光源、表面检查灯、手持检测灯

变色灯箱、色差仪、卤素光源装置、氧气浓度计、焊接机、应力表面检查仪、LED光源机、电子天平、粘度计、膜厚计、恒流泵、采样泵、PH计、水分计、地震测试仪、脱泡搅拌机、压力传感器、气体检测仪、接近开关、拉拔机、异音检测仪、应变测试仪、拉针仪、水平测试仪等