LINTEC琳得科 MC-5200C 质量流量控制器
核心规格参数
‌流量范围‌：上限 ‌50 SLM‌（标准氮气换算），具体下限依配置而定。
‌控制精度‌： （设定值，在 100%~25% F.S. 范围内）。
‌重复性‌
‌响应时间‌：‌1 秒内‌达到稳定。
‌阀门类型‌：采用‌压电执行器‌驱动的隔膜阀，具备小死体积、高速响应特性（该型号通常未特别标注

LINTEC琳得科 MC-5200C 质量流量控制器

LINTEC琳得科 MC-5200C 质量流量控制器 

 EtherCAT 质量流量控制器

用于 EtherCAT 通信的高性能质量流量控制器。

这是一款用于半导体工艺的高性能质量流量控制器，采用 EtherCAT 通信版本。它符合 SEMI 标准，并可通过 EtherCAT 通信进行控制，EtherCAT 通信是半导体制造设备中高速传输系统常用的通信方式。

它标配半导体制造工艺所需的金属密封件和 Lintec 独特的环境温度补偿流量传感器，并可选配液化气体兼容性和其他功能。

MC-5000C

特征

精度±1%SP

金属密封件

洁净（保证无颗粒）

环境温度保证传感器

EtherCAT 通信

选项

微流控FS

液化气兼容

范围广泛

使用示例

统一的 EtherCAT 通信设备

越来越多的半导体制造设备采用 EtherCAT 通信（数字接口）来实现对机器人手臂等运输系统的高速控制。EtherCAT 通信拥有 65,536 个节点，能够将 MFC（多功能循环）系统中所有测量和运动系统元件统一起来。

规格

温度

最小压差

最大压差

准确性

控制范围

 文件系统

最大 FS

海豹

15~35℃

50千帕

300千帕

±1%SP

2-100% FS

10 SCCM

300SLM

奥

*所示规格为标准质量流量控制器的规格。 可通过选件进行更改。

我司代理及优势品牌一览明细：

代理品牌：CCS晰写速SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉

NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机

SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt写真化学、NIPPON GEAR日本齿轮

NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 东丽  watson沃森

优势品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、TAKASAGO高砂、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西

SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC

S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学

AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野、ANRITSU安立计器

IMV艾目微、MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣、HEIDON新东科学KURABO仓纺、SHOWA昭和、THINKY新基、AIKOH爱光、SEM坂本电机

SURUGA骏河 、SANSYO三商、ITOH伊藤、NAGARISHI成茂、

RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川 TOKYOKEISO东京计装

Düsen-德国  Schlick AMETEK-LAND兰德 Advantec 东洋 Eppendorf艾本德   ‌Bettersizer丹东百特  Teledyne FLIR YOKOGAWA横河    shimadzu島津  SIBATA柴田科学  NICHIRYO立洋 东丽TORAY  BANNER邦纳 Mitutoyo三丰 Sanyo Trading三洋 NITTA 霓达  牧田makita METTLERTOLEDO梅特勒 本特利Bently AIDA 会田 KYOWA共和  FUJIKIN  富士金 富士电机Fuji 德国DIAS HIOKI日置 美国checkline 美国Sutter VACUUBRAND德国 INFICON英富康 东方马达ORIENTAL MOTOR NIDEC尼得科 美国advancedenergy SATOVAC佐藤 SICK 西克

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