LINTEC琳得科 HX-0100C 质量流量控制器
核心规格参数
‌流量范围‌：上限 ‌50 SLM‌（标准氮气换算），具体下限依配置而定。
‌控制精度‌： （设定值，在 100%~25% F.S. 范围内）。
‌重复性‌
‌响应时间‌：‌1 秒内‌达到稳定。
‌阀门类型‌：采用‌压电执行器‌驱动的隔膜阀，具备小死体积、高速响应特性（该型号通常未特别标注

LINTEC琳得科 HX-0100C 质量流量控制器

LINTEC琳得科 HX-0100C 质量流量控制器

小型燃气取暖器 [HX-0020]

结构紧凑、体积小巧的燃气加热器，最高加热温度为 200°C。

特征

设计紧凑，对面尺寸为 160 毫米，宽度为 55 毫米。

将 10 SLM 的 N2 气体加热至 200°C

可以在不腐蚀与气体接触的部件（SUS316L）的情况下加热气体。

可在真空和压力下使用。

HX-0020

使用示例

ALD和CVD设备的热吹扫

在诸如原子层沉积（ALD）和化学气相沉积（CVD）等真空沉积工艺中，液化气体被广泛应用。然而，使用室温气体进行吹扫会导致气体冷却冷凝，从而造成吹扫不充分。因此，热吹扫是一种有效的解决方案。这款紧凑型气体加热器（HX-0020）的占地面积与微型燃料电池（MFC）相差无几，最高加热温度可达200°C，能够将气体加热至非常接近使用点的位置。这使其成为ALD和CVD等真空沉积设备热吹扫的理想选择。

规格

流量（N2转化率）

压力损失（N2）

压力阻力（G）

工作温度

气体接触部件的材料

规格

10SLM

14千帕

1兆帕

200℃

SUS316L

*有关小型燃气加热器和小型热交换器的详细规格，请直接与我们联系。

我司代理及优势品牌一览明细：

代理品牌：CCS晰写速SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉

NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机

SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt写真化学、NIPPON GEAR日本齿轮

NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 东丽  watson沃森

优势品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、TAKASAGO高砂、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西

SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC

S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学

AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野、ANRITSU安立计器

IMV艾目微、MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣、HEIDON新东科学KURABO仓纺、SHOWA昭和、THINKY新基、AIKOH爱光、SEM坂本电机

SURUGA骏河 、SANSYO三商、ITOH伊藤、NAGARISHI成茂、

RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川 TOKYOKEISO东京计装

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