LINTEC琳得科 MC-3452L 质量流量控制器
核心规格参数
‌流量范围‌：上限 ‌50 SLM‌（标准氮气换算），具体下限依配置而定。
‌控制精度‌：±1.0% S.P.（设定值，在 100%~25% F.S. 范围内）。
‌重复性‌：±0.2% F.S.。
‌响应时间‌：‌1 秒内‌达到稳定。
‌阀门类型‌：采用‌压电执行器‌驱动的隔膜阀，具备小死体积、高速响应特性（该型号通常未特别标注

LINTEC琳得科 MC-3452L 质量流量控制器

LINTEC琳得科 MC-3452L 质量流量控制器

高性能数字质量流量控制器

高性能数字质量流量控制器，保证±1% SP。

Lintec独特的环境温度补偿传感器即使在低温下也能实现高精度的流量测量。它最大限度地减少了传感器随时间推移因热引起的性能下降，即使使用臭氧等易分解气体也能控制流量。

这款高性能、 数字质量流量控制器提供液化气体、分钟流量 FS、宽范围以及面对面尺寸和配件规格等选项。

高性能质量流量控制器

特征

精度±1%SP

工作温度 5-50℃

金属密封件

洁净（保证无颗粒）

环境温度补偿传感器

RS-485通信

选项

微流控FS

液化气兼容

范围广泛

使用示例

半导体制造前端工艺

由于 CVD（化学气相沉积）ALD 薄膜沉积和蚀刻设备中使用了高活性气体，因此具有高耐腐蚀金属密封的气体质量流量控制器是 的。

此外，许多前驱体中含有在常温常压下呈液态的气体，因此高耐热性和抗再液化的阀门结构至关重要。MC-3000L 高精度质量流量控制器提供处理液化气体的选项，最高工作温度为 50°C（选配后可达 55°C）。

分析器

分析仪器通常需要精确控制极低的流速，而普通质量流量控制器的最小流量 (FS) 为 5 SCCM，无法满足如此低的流速控制需求。高精度质量流量控制器 MC-3000L 可选配 FS 低至 1 SCCM 或更低的规格。

此外，MC-3000L 高精度质量流量控制器标配一个死容积较小的隔膜阀。

规格

温度

最小压差

最大压差

准确性

控制范围

文件系统

最大 FS

海豹

5-50℃

50千帕

300千帕

±1%SP

2-100% FS

5SCCM

400SLM

奥

*所示规格为标准质量流量控制器的规格。

我司代理及优势品牌一览明细：

代理品牌：CCS晰写速SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉

NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机

SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt写真化学、NIPPON GEAR日本齿轮

NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 东丽  watson沃森

优势品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、TAKASAGO高砂、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西

SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC

S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学

AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野、ANRITSU安立计器

IMV艾目微、MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣、HEIDON新东科学KURABO仓纺、SHOWA昭和、THINKY新基、AIKOH爱光、SEM坂本电机

SURUGA骏河 、SANSYO三商、ITOH伊藤、NAGARISHI成茂、

RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川 TOKYOKEISO东京计装

Düsen-德国  Schlick AMETEK-LAND兰德 Advantec 东洋 Eppendorf艾本德   ‌Bettersizer丹东百特  Teledyne FLIR YOKOGAWA横河    shimadzu島津  SIBATA柴田科学  NICHIRYO立洋 东丽TORAY  BANNER邦纳 Mitutoyo三丰 Sanyo Trading三洋 NITTA 霓达  牧田makita METTLERTOLEDO梅特勒 本特利Bently AIDA 会田 KYOWA共和  FUJIKIN  富士金 富士电机Fuji 德国DIAS HIOKI日置 美国checkline 美国Sutter VACUUBRAND德国 INFICON英富康 东方马达ORIENTAL MOTOR NIDEC尼得科 美国advancedenergy SATOVAC佐藤 SICK 西克

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