NAPSON纳普森 EC-80 涡流法电阻率
可控温夹头（室温～600℃/小于20分钟）
600C兼容探头，带1mm线性接口
由真空传感器、数字温度计、真空表和气体流量计控制

NAPSON纳普森 EC-80 涡流法电阻率

NAPSON纳普森 EC-80 涡流法电阻率

 EC-80

便携式涡流法电阻率/薄层电阻测量工具（无损）

特征

1分

非接触式

操作简便，设计紧凑；

将晶圆插入探针下方即可自动启动测量；

通过旋钮即可轻松设置测量条件；

每个测量范围均有5种型号可供选择

细节

应用程序

半导体材料、太阳能电池材料（硅、多晶硅、碳化硅等）

新型材料、功能材料（碳纳米管、类金刚石碳、石墨烯、银纳米线等）

导电薄膜（金属、ITO 等）

化学化合物半导体（GaAs外延、GaN外延、InP、Ga等）

其他（*详情请联系我们）

样本量

约8英寸，约156x156毫米

测量范围

[R] 1m ~ 200Ω・cm

[RS] 10m ~ 3,000Ω/sq

*低、中、高和超高探头类型的范围是分开的。

*请参考以下各探头类型的测量范围：

（1）低：0.01～0.5Ω/□（0.001～0.05Ω-cm）（2）中：0.5～10Ω/□（0.05～0.5Ω-cm）（3）高：10～1000Ω/□（0.5～60Ω-cm）（4）超高：1000～3000Ω/□（60～200Ω-cm）

尺寸

宽220毫米×深325毫米×高210毫米

，约重6.5公斤

非接触式电阻测量

手册（单点测量）

我司代理及优势品牌一览明细：

代理品牌：CCS晰写速SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉

NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机

SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt写真化学、NIPPON GEAR日本齿轮

NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 东丽  watson沃森

优势品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、TAKASAG代理O高砂、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西

SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、TORAY东丽、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC

S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学

AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野、ANRITSU安立计器

IMV艾目微、MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣、HEIDON新东科学KURABO仓纺、SHOWA昭和、THINKY新基、AIKOH爱光、SEM坂本电机

SURUGA骏河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤、NAGARISHI成茂、

RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等

优势产品：日本紫外线照度计、紫外线装置灯管、LED视觉光源、表面检查灯、手持检测灯

变色灯箱、色差仪、卤素光源装置、氧气浓度计、焊接机、应力表面检查仪、LED光源机、电子天平、粘度计、膜厚计、恒流泵、采样泵、PH计、水分计、地震测试仪、脱泡搅拌机、压力传感器、气体检测仪、接近开关、拉拔机、异音检测仪、应变测试仪、拉针仪、水平测试仪等