NAPSON纳普森 FLA-200 碳硅晶圆测量器
可控温夹头（室温～600℃/小于20分钟）
600C兼容探头，带1mm线性接口
由真空传感器、数字温度计、真空表和气体流量计控制

NAPSON纳普森 FLA-200 碳硅晶圆测量器

NAPSON纳普森 FLA-200 碳硅晶圆测量器

 FLA-200

晶圆平整度测量系统

特征

多点

非接触式

电脑及软件

测量厚度、总厚度变化 (TTV)、弯曲度、翘曲度以及局部和整体平整度（符合 ASTM 标准）。

可测量所有材料，包括 Si、GaAs、Ge、InP 和 SiC。

无需重新校准即可实现 500 微米的完整厚度测量范围。配备

二维/三维映射软件。

细节

应用程序

半导体材料、太阳能电池材料（硅、多晶硅、碳化硅等）

硅相关外延材料，离子注入样品

化学化合物半导体（GaAs外延、GaN外延、InP、Ga等）

样本量

3~8英寸

测量范围

厚度：200 – 1200μm；

弯曲：+/-350μm

；翘曲：350μm

产品信息

我司代理及优势品牌一览明细：

代理品牌：CCS晰写速SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉

NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机

SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt写真化学、NIPPON GEAR日本齿轮

NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 东丽  watson沃森

优势品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、TAKASAG代理O高砂、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西

SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、TORAY东丽、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC

S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学

AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野、ANRITSU安立计器

IMV艾目微、MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣、HEIDON新东科学KURABO仓纺、SHOWA昭和、THINKY新基、AIKOH爱光、SEM坂本电机

SURUGA骏河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤、NAGARISHI成茂、

RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等

优势产品：日本紫外线照度计、紫外线装置灯管、LED视觉光源、表面检查灯、手持检测灯

变色灯箱、色差仪、卤素光源装置、氧气浓度计、焊接机、应力表面检查仪、LED光源机、电子天平、粘度计、膜厚计、恒流泵、采样泵、PH计、水分计、地震测试仪、脱泡搅拌机、压力传感器、气体检测仪、接近开关、拉拔机、异音检测仪、应变测试仪、拉针仪、水平测试仪等