NAPSON纳普森 RG-3000 薄层电阻测量仪
可控温夹头（室温～600℃/小于20分钟）
600C兼容探头，带1mm线性接口
由真空传感器、数字温度计、真空表和气体流量计控制
温度测量精度：±（0.5% + 1℃）

NAPSON纳普森 RG-3000 薄层电阻测量仪

NAPSON纳普森 RG-3000 薄层电阻测量仪

 特征

多点

联系类型

电脑及软件

全球测量范围 ，半导体测量精度最高；

用户可编程测量模式；

测试仪自检功能

；硅片厚度、边缘、温度校正；

薄膜厚度由薄层电阻转换而来

细节

应用程序

半导体材料、太阳能电池材料（硅、多晶硅、碳化硅等）

新型材料、功能材料（碳纳米管、类金刚石碳、石墨烯、银纳米线等）

导电薄膜（金属、ITO 等）

扩散样品（或层）

硅相关薄膜（LTPS等）、IGZO

硅相关外延材料，离子注入样品

其他（*详情请联系我们）

样本量

WS-8800：约 8 英寸，约 156x156 毫米

- 可选（大型载物台：RG-3000 型号）；约 12 英寸，约 210x210 毫米

WS-3000：3~12英寸（和/或可选8英寸）

测量范围

1. RT-3000/S版本；

[R] 100μ~1M Ω·cm

[RS] 1m~10M Ω/sq

2. RT-3000/H 版本；

［RS] 10mΩ/sq 至 1GΩ/sq

尺寸

RT-3000：宽250 x 深323 x 高135毫米

，约6公斤

RG-2000：宽1020 x 深490 x 高408毫米

，约90公斤；

RG-3000：宽935 x 深564 x 高471毫米

，约95公斤

接触式电阻测量

半自动（多点测量）

我司代理及优势品牌一览明细：

代理品牌：CCS晰写速SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉

NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机

SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt写真化学、NIPPON GEAR日本齿轮

NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 东丽  watson沃森

优势品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、TAKASAG代理O高砂、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西

SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、TORAY东丽、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC

S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学

AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野、ANRITSU安立计器

IMV艾目微、MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣、HEIDON新东科学KURABO仓纺、SHOWA昭和、THINKY新基、AIKOH爱光、SEM坂本电机

SURUGA骏河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤、NAGARISHI成茂、

RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等

优势产品：日本紫外线照度计、紫外线装置灯管、LED视觉光源、表面检查灯、手持检测灯

变色灯箱、色差仪、卤素光源装置、氧气浓度计、焊接机、应力表面检查仪、LED光源机、电子天平、粘度计、膜厚计、恒流泵、采样泵、PH计、水分计、地震测试仪、脱泡搅拌机、压力传感器、气体检测仪、接近开关、拉拔机、异音检测仪、应变测试仪、拉针仪、水平测试仪等