产品介绍
Setra西特 压力传感器 225G30CPGC411B1
Setra西特 压力传感器 225G30CPGC411B1
Setra GCT-225系列超高纯压力变送器专门设计用于半导体工艺过程中的超高纯气体输送系统以及要求超洁净工作、高吞吐量和超高长期稳定性的控制应用。
GCT-225系列采用可旋转的外罩结构,用户可方便地调节用于零点和量程微调的12圈电位计。标准的旋转外螺纹/内螺纹端面密封压力接口可满足半导体行业的要求。此外,该系列产品还选用多种其他接口类型。GCT-225系列产品提供5VDC、10VDC或4-20mA三种输出类型,可使用六英尺多芯电缆及卡口、D-Sub或M12xl接头进行电气连接。
Model 225
超高纯压力变送器
特性
·泄露率低
·VCR接头
·易于吹扫的小腔室
·200PSI/250PSI/3000PS
·316LVIM/VAR不锈钢
·表面抛光度7Ra
·VCR接头
·1X10°ATM.CC/sec级别的氮渗漏实验
·坚固耐用, 安装
·4-20mA输出型获得不易燃认证,适用于潜在危险区域
·符合CE和RoHS标准要求
应用
·高纯度气体输送系统
·半导体过程工具
·气柜
GCT-225系列压力变送器采用Setra 的可变电容技术,配有VIM/VAR 316L不锈钢隔膜和绝缘电极板。绝缘电极板与传感器本地构成可变电容。当气体压力提升时,隔膜会变得略圆,使电容减小。传感器将检测到电容变化,并将其转换为高精度的线性直流电信号。Setra独特的定制集成电路采用 的电荷平衡原理制成,几乎不受EMI/RFI干扰。
在制造和装配完成后,Setra超高纯压力变送器还要接受去离子水冲洗、高纯热氮气吹扫、烘干、双层包装、氮气充注和密封等处理,最后才发货。
注:Setra的质量标准是根据ANSI-Z540制定的。该产品的标定具有NIST可追踪性,美国 号。
Vacuum Coupling Radius,金属面密封,以下简称VCR。
压力范围
0psigor-14.7 bar or-1 barpsigta
耐压
psig)
25
50
100
250
500
1000
3000
-14.7~85.3
-14.7~ 235.3
-14.7~9853
-14.7~2985.3
1.7
3.4
7.0
17
35
70
200
50
75
150
350
550
1250
3500
150
350
1250
3500
设计压力破裂压(psig)
(psig)
180
365
365
600
900
1500
3000
365
600
1500
3000
1500
3000
3000
5000
6
00
7500
10,000
3000
5000
7500
10,000
注:S40a质量标准基于ANS1-Z540-1。产品的校准是NIST 可追湖的。
耐压:在不改变性能超过规范的情况下可施加的最大压力(土1%FS零住移)。
破裂压:在不使传感元件破裂的情况下,施加在正压端口上的最大压力。
根据ASME BPVC.N-2015 HG-502.3计算的设计压力
规格
物理参数电气参数(电压)±025%FS壳体不锈钢电路3线(COM. OUT.EXC)t015%FS电气连接参见订购信息O- 5C 02-5o输出10VDC或0.2~10.2VDC迟漆020%FS压力接口参见订购信息5VESO(满量程输出)时为10~30VDC邀过外壳激励10VFS0(满量程输出)时为13~30 VDC-9-65°C内腔体积.11in输出电阻1000/MVAR316L不锈钢,电解抛光至8% (%FS/50°C)接液部件暖机漂移总读茶土0.1%FS7Ra(最大10Ra)注漏试验:使用质谎仪进行1x10*ATM.CC/sec级别的氮渗约113g功耗0.03W黑试验环境参数电气参数(电流)工作温度"40°C~+85°C电路2线储存温度40°C~+85°C哈出4~20mA外部负数0-8000电流输出型30°C~+80°C (工作/储存温度)(订购NI选项时)最小供电电压(VDC)10+002(按收器附加导线电阻)30+0.004x(接收器附加导线电阻)最大供电电压 (VDC)功耗柜
性能参数
精度RSS'(恒温下)非线性(最佳拟合直线)
温度影响
度补偿范围
零点/满程漂移
压力介质
与316L不锈钢兼容的液体或气体
认证
不易燃认证:适用于潜在危险区域的认证:
北英:可选ETL认证,符合UL1604(选择NT选项)欧洲:可选的ATEX94/9/EC (选择 NI选项)
09W
4.采用EK口负载进行标定,可在负载S口时工作。5.零点(满里程)输出:对于5VDC电源,出广设置在±25nV以内;对于10VDC电源,出厂设置在士50mV以内7.零点输出的出厂设置在土008mA以内,满量程辅出的出厂设置在土016nA以内
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0755-28282893

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