Setra西特 传感器 730G010TA4T2BD9K
Model 261C系列继承了Setra传统的高精度、快速响应和超低量程的特点。同时考虑了药厂和洁净厂房对微差压变送器的要求，现场液晶显示，充分满足行业应用的要求，是药厂、电子洁净厂房、无尘实验室的理想选择。

Setra西特 传感器  730G010TA4T2BD9K

Setra西特 传感器  730G010TA4T2BD9K

080

setra

Setra730是一款高精度电容式真空计(亦称电容薄膜式压力计(CDG)》，适用于在光伏、半导体及工业市场中测量对过程控制至关重要的低真空压力范国。730使用全Inconel接液材料，可耐受腐蚀性工艺介质。 符合RoHS规范的高频电子设计，具备极低噪声的同时保持快速响应时间，满足当今关键控制应用需求。相比于竞品型号，其外部嗓声抑制、快速预热、不受环境影响及长期稳定性等特点更为突出。

适合苛刻应用的高性能产品730电容式真空计使用坚固的单电极可变电容敏感元件，具备出色的抗过压能力和优异的长期稳定性。它的读数精度、低迟滞及高分辨率保证了宽动态范围，使得730成为关键制造过充中测量及控制的理想选择。

Inconel设计保证通用性

Model 730电容式真空计

特性

·耐化学品的Inconel*设计

·精密真空测量

·行业标准接头

·高精度:标准+0.5%读数，可选+025%读数

·张紧的膜片保证优异的性能

·工作温度补偿范国宽

·电路嗓声低、响应快

·不易受环境条件变化影响

·出色的抗过压设计

730的所有接液部件均采用Inconel材料，因此对半导体及工业真空过程中的腐蚀性介质具有 的耐受性。该材料结合全焊接结构，保证了730在苛刻应用中的长期使用寿命。

直接压力测量

与其他真空测量技术不问，730电容式真空计直接测量压力，即单位面积上的力的变化。其0-5或0-10VDC模拟输出信号正比于所测量的压力，不受工艺气体成分的影响。

耐压

范围

所有范围

耐压(PSIA)

45 PSA

·符合CE和RoHS规范

应用

半导体行业

PECVD/ALD工艺设备

·等离子体刻蚀工艺设备

·石化行业

等离子体灭菌器

·真空包装

规格

精度

呐应时间

分辨率

补偿范围

零点漂移

量程漂移

长期稳定性

DE,RoHS

性能参数

士0.5%读数士0.25%读数(可选)

20ms

无限，仅受输出噪声的限制(s0.005%FS)

温度影响

0~+50°C

0.25% FS/50°C

1.35%读数/50°C

0.5%FS/1年，不包含环境条件影响

认证

压力接口

接液材料

电气连接

壳体

腔室体积

重量(近似值)

温度

工作温度

物理参数

参见订购信息

nconel

5针接线端子、9针D-Sub或15针D-Sub接头(位于6"接线上)

不锈钢

<6.000

<250g

环境参数

0至+80°C

电气参数(电压)

激励/输出"

电流消耗。

输出负载。

输出阻抗

电路

12-30 VDC/0-10 VDC9-30 VDC/0-5VDC

c10mA(最大值)

-10kO

<10

3线制

压力介质

与Inconel 兼容的气体或液体。Inconel@接液材料仅适用于0.5管道选项。其他接头选项会添加不锈钢。1句场北找性，北重复性和识漆2产品在名义温度20C下进行校准。根据此数据计算最大温度偏差误篷。在80C下运行时，满量程范围小于100 Torr时为41.0%FS/年采用50KO负载进行标定，可在负载>5KO时工作